Ultrasoon boren van gaatjes kleiner dan 200 ?m

Manufacturing
Mikroniek 4-1985 by R.Brehm 27 April 2006

Een van de problemen bij het ultrasoon boren van kleine gaatjes is de krachtinstelling om de gewenste boordruk te kunnen aanbrengen. Zo is het vereist, in het geval dat gaatjes geboord moeten worden met een diameter kleiner dan 100 ?m, dat de kracht met een nauwkeurigheid van 1mN ingestled kan worden. Daarom is de inrichting ingewikkeld, waarmee de boordruk met de gewenste nauwkeurigheid kan worden ingesteld. <br />Een tweede probleem is het slingervrij montern van de boortjes. Hierote is gekozen voor een oplossing waarbij de boortjes in de opstelling op de gewenste diameter worden gebracht, met een speciaal daatoe gemaakt slijpapparaat. Om een goede stabiliteit van het boorproces te verzekeren is de boormachine voorzien van twee luchtgaatjes. Een lager is ingebouwd in de inrichting voor het aanbrengen van de kracht om bij de instelling van de boordruk verzekerd te zijn van een zo klein mogelijke wrijvingskracht. Het tweede luchtlager is aangebracht in de kop waarvan het boorgereedschap is bevestigd. Hierdoor kunnen de boortjes praktisch slingervrij op de gewenste maat geslepen worden.


References

Call for abstracts! DSPE Conference…

The call for abstracts is open until 15 February 2025.

Read more
Lunch lecture November hosted by…

The title of this lunch lecture is: Potential of fault diagnosis and predictive maintenance for precision mechatronics

Read more
QUADRA: metrology for the ongoing…

The semiconductor roadmap is currently fuelled by innovations along three trends

Read more