Traagheidsaandrijving

Mechanics
Mikroniek5-1998 by I. van Hees 27 April 2006

Een rechtgeleiding is in het algemeen een constructie die de zes vrijheidsgraden van een object, beperkt tot ??n vrijheidsgraad. Mechanische rechtsgeleidingen hebben als algemeen kenmerk dat de nauwkeurigheid van 1 ?m over een bereik van enkele centimeters ongeveer de grens is van wat nog haalbaar is. De problemen op het gebied van bijvoorbeeld vervorming, slijtage, beschadiging, thermische uitzetting en trillingen worden dan langzamerhand onoverkomelijk.


References

Lunch Lecture April hosted by…

Theme: Concept optimization of system dynamics of a lithography tool.

Read more
Historical view on determinism and…

Paralleling the historical beginnings of modern science, assessing and addressing variation in physical systems constitutes the foundation of precision engineering. Tycho Brahe gave us the measurement data to analyse the heavens.

Read more
Sensor for picometer-scale positioning in…

As technology reaches the atomic and quantum scale, sub-nanometer motion control is no longer optional – it is a necessity, often in vacuum environments where even the smallest disturbances are effectively suppressed.

Read more