Susan meet sneller, nauwkeuriger en met hogere resolutie

IBS Precision Engineering heeft onder de naam Susan (SUperwafer Surface ANalysis) een machine ontwikkeld voor het tweezijdig meten van siliciumwafers. De machine, gebaseerd op capacitieve meettechnologie, meet van wafers tot 300 mm eigenschappen als warp, bow en dikte. Susan is aanzienlijk sneller en nauwkeuriger dan bestaande machineconcepten dankzij luchtlagering. Haar modulaire structuur biedt ruimte voor een optionele hoge-resolutiesensor voor het meten van de oppervlakteruwheid.