Rondheidsmeting met nanometer-nauwkeurigheid

Precision-technology Sensors
Mikroniek 3-1995 by H.Haitjema 27 April 2006

Een van de belangrijkste soorten van vormmeting is het meten van rondheid. Ten behoeve van een rondheidsmeting welke herleidbaar is tot afwijkingen ten opzichte van een mathematische cirkel zijn rondheidsstandaarden ontwikkeld. De nauwkeurigste rondheidsstandaarden bestaan uit glazen halve bollen, keramische bollen of stalen kogels. Deze standaarden dienen om de rondloopnauwkeurigheid van rondheidsmeters te bepalen. Moderne rondheidsmeters hebben een rondloopnauwkeurigheid van circa 0,05 micrometer. De meeste in omloop zijnde rondheidsstandaarden hebben een rondheidsafwijking van 0,05 micrometer of kleiner. Voor een zinvolle kalibratie van deze standaarden is dus een methode vereist met een onzekerheid van 0,02 micrometer of minder. Een dergelijke nauwkeurigheid is ook noodzakelijk voor de meting van hogeprecisiekogels en cilinders. Dit artikel geeft weer hoe dit bij het NMi Van Swinden Laboratorium (VSL) is bereikt.


References

Professional education program (Microcredentials)

The aim of the DSPE professional education program is to equip professionals with the specialized knowledge, skills, and competencies needed to design and realize innovative (high tech) systems.

Read more
Techcafé met als thema Manufacturability

Dé plek om ongedwongen nieuwe contacten op te doen én onder het genot van een borrel en bitterbal te sparren over tech onderwerpen.

Read more
Marriage of opto-mechatronics and electron…

This year’s DSPE Opto-Mechatronics Symposium attracted some 100 participants from academia and industry, all of whom seized the opportunity for networking, meeting technical peers, and visiting an interesting small-scale exhibition.

Read more