Rondheidsmeting met nanometer-nauwkeurigheid

Precision-technology Sensors
Mikroniek 3-1995 by H.Haitjema 27 April 2006

Een van de belangrijkste soorten van vormmeting is het meten van rondheid. Ten behoeve van een rondheidsmeting welke herleidbaar is tot afwijkingen ten opzichte van een mathematische cirkel zijn rondheidsstandaarden ontwikkeld. De nauwkeurigste rondheidsstandaarden bestaan uit glazen halve bollen, keramische bollen of stalen kogels. Deze standaarden dienen om de rondloopnauwkeurigheid van rondheidsmeters te bepalen. Moderne rondheidsmeters hebben een rondloopnauwkeurigheid van circa 0,05 micrometer. De meeste in omloop zijnde rondheidsstandaarden hebben een rondheidsafwijking van 0,05 micrometer of kleiner. Voor een zinvolle kalibratie van deze standaarden is dus een methode vereist met een onzekerheid van 0,02 micrometer of minder. Een dergelijke nauwkeurigheid is ook noodzakelijk voor de meting van hogeprecisiekogels en cilinders. Dit artikel geeft weer hoe dit bij het NMi Van Swinden Laboratorium (VSL) is bereikt.


References

Order of frictions and stiffnesses…

For lumped systems consisting of different frictions and stiffnesses, there has been confusion in literature about hysteresis curves and virtual play for many decades.

Read more
Make it clean

In mid-April, the second edition of the Manufacturing Technology Conference and the fifth edition of the Clean Event were held together, for the first time, at the Koningshof in Veldhoven (NL).

Read more
Bringing particles to light

Particle contamination monitoring and cleanliness control are fundamental to micromanufacturing processes across diverse industries to achieve cost-effective production of high-quality and reliable microscale devices and components.

Read more