Rondheidsmeting met nanometer-nauwkeurigheid

Een van de belangrijkste soorten van vormmeting is het meten van rondheid. Ten behoeve van een rondheidsmeting welke herleidbaar is tot afwijkingen ten opzichte van een mathematische cirkel zijn rondheidsstandaarden ontwikkeld. De nauwkeurigste rondheidsstandaarden bestaan uit glazen halve bollen, keramische bollen of stalen kogels. Deze standaarden dienen om de rondloopnauwkeurigheid van rondheidsmeters te bepalen. Moderne rondheidsmeters hebben een rondloopnauwkeurigheid van circa 0,05 micrometer. De meeste in omloop zijnde rondheidsstandaarden hebben een rondheidsafwijking van 0,05 micrometer of kleiner. Voor een zinvolle kalibratie van deze standaarden is dus een methode vereist met een onzekerheid van 0,02 micrometer of minder. Een dergelijke nauwkeurigheid is ook noodzakelijk voor de meting van hogeprecisiekogels en cilinders. Dit artikel geeft weer hoe dit bij het NMi Van Swinden Laboratorium (VSL) is bereikt.