Resultaatartikel, IOP Smartmounts

Control Electronics Mechanics
IOP by Johannes van Dijk 15 November 2009

Elke industrietak heeft last van trillingen. Vooral in de precisietechnologie is dat een groot probleem, want slecht gedempte trillingen beperken de nauwkeurigheid van de apparatuur. Terwijl juist aan die nauwkeurigheid steeds hogere eisen worden gesteld. Onderzoekers van drie kennisinstituten – Universiteit Twente, Technische Universiteit Delft en TNO Industrie en Techniek – hebben voor het trillingsprobleem ieder een andere oplossingsrichting uitgewerkt.


References

Lunch Lecture April hosted by…

Theme: Concept optimization of system dynamics of a wafer metrology tool

Read more
Historical view on determinism and…

Paralleling the historical beginnings of modern science, assessing and addressing variation in physical systems constitutes the foundation of precision engineering. Tycho Brahe gave us the measurement data to analyse the heavens.

Read more
Sensor for picometer-scale positioning in…

As technology reaches the atomic and quantum scale, sub-nanometer motion control is no longer optional – it is a necessity, often in vacuum environments where even the smallest disturbances are effectively suppressed.

Read more