Reductie van behuizingsspanning in een micro-mechanische druksensor

Mechanics Micro system technology MEMS/NEMS Sensors
Mikroniek 6-1994 by V.L.Spiering 27 April 2006

In een micromechanische sensor wordt een zeer kleine flexibele structuur mechanisch vervormd als gevolg van een te meten grootheid. Volgens verscheidene transductieprincipes is het mogelijk om deze vervormingen om te zetten in een elektrisch signaal. Dit meetsignaal is dus een waarde voor de te meten grootheid, een drukverschil in dit artikel. Het is van groot belang dat de mechanische vervorming alleen door het srukverschil bepaald wordt en niet door storingsverschijnselen wordt beinvloed. Het behuizen van gevoelige micromechanische sensoren blijkt vaak dergelijke hinderlijke storingen te introduceren. Veel gevallen zijn bekend waarbij de microsensor na het plaatsen in de behuizing niet meer correct bleek te werken, of zelfs volledig kapot ging. In dit artikel zal een oplossing voor het reduceren van behuizingsspanningen worden aangedragen. Een mechanische ontkoppelzone wordt geintroduceerd, die de behuizingsspanning reduceert, maar de spanning als gevolg van het drukverschil niet beinvloedt.


References

Wim van der Hoek Award…

This year, the jury has received four nominations for students who applied existing or new design principles in their graduation work in an exciting manner.

Read more
Over 350 exhibitors, 6 themes…

The 2024 edition has six central themes: Mechatronic Engineering & Systems, Metrology, Vacuum & Clean, Micro Processing & Motion, Laser & Photonics, and Production for High Precision.

Read more
Nonlinear control takes over?

The ever increasing demands on precision and throughput in semiconductor manufacturing machines challenge today's linear control designs.

Read more