Picodriftmeter en verplaatsingsinterferometrie

Precision-technology Sensors
IOP by Rob Munnig Schmidt, Dario Lo Cascio 28 October 2010

De lengtemeettechniek is zo ver geëvolueerd, dat hinder ontstaat door onbedoelde beweging – drift – op picometerniveau. Het IOP-project Picodriftmeter ontwikkelde een platform om deze picodrift te kunnen meten en een frequentiegestabiliseerde 3-frequentielaser. Daarbij is nauw samengewerkt met de onderzoekers van het gelijktijdig uitgevoerde IOP-project Verplaatsingsinterferometrie met sub-nanometer onzekerheid. Dit project – een vervolg op het eerder in Eindhoven uitgevoerde IOP-project Sub-nanometer interferometrie – resulteerde in een compacte laserinterferometer zonder periodieke fouten (< 20 pm) en met een dubbele resolutie dan een standaardinterferometer; op het ontwerp is patent aangevraagd. Andere resultaten zijn een redesign voor een vier keer zo korte Fabry-Pérot cavity en een gestabiliseerde lasergolflengtebron, die zich automatisch aanpast aan de veranderende brekingsindex in lucht.


References

Lunch Lecture April hosted by…

Theme: Concept optimization of system dynamics of a wafer metrology tool

Read more
Historical view on determinism and…

Paralleling the historical beginnings of modern science, assessing and addressing variation in physical systems constitutes the foundation of precision engineering. Tycho Brahe gave us the measurement data to analyse the heavens.

Read more
Sensor for picometer-scale positioning in…

As technology reaches the atomic and quantum scale, sub-nanometer motion control is no longer optional – it is a necessity, often in vacuum environments where even the smallest disturbances are effectively suppressed.

Read more