Ontwikkeling van een Surface Acoustic Wave Planaire Motor in Closed Loop Regeling

Control
Mikroniek 6-2002 by N.M.P.A. Vermeulen, F.G.P. Peeters, H. Soemers, P.J. Feenstra, P.C. Breedveld 27 April 2006

Conventionele meerdimensionale manipulatoren zijn vaak gebaseerd op een stapeling van lineaire systemen, bestaande uit een elektromotor, een transmissie en een lineaire geleiding. Hieraan zitten enkele nadelen, zoals relatief grote afmetingen en een geringe stijfheid. Daarom heeft een parallelle manipulator, die bestaat uit minder componenten, de voorkeur. In dit artikel wordt een direct aangedreven planaire manipulator gepresenteerd, welke is gebaseerd op aandrijving met behulp van Surface Acoustic Waves.


References

Lunch Lecture April hosted by…

Theme: Concept optimization of system dynamics of a wafer metrology tool

Read more
Historical view on determinism and…

Paralleling the historical beginnings of modern science, assessing and addressing variation in physical systems constitutes the foundation of precision engineering. Tycho Brahe gave us the measurement data to analyse the heavens.

Read more
Sensor for picometer-scale positioning in…

As technology reaches the atomic and quantum scale, sub-nanometer motion control is no longer optional – it is a necessity, often in vacuum environments where even the smallest disturbances are effectively suppressed.

Read more