Ontwerpgereedschappen voor geintegreerde optische schakelingen

ICT Optics
Fotonica nr. 1, 1994 by R. de Ridder, H. Hoekstra, F. Wijnands; X. Leijtens, M. Smit, C. van Dam 27 April 2006

De geintegreerde optica is een relatief jong vakgebied. De gereedschappen die een ontwerper op dit terrein ter beschikking staan zijn dan ook minder ver ontwikkeld dan die voor de micro-electronica. Tevens zijn dergelijke hulpmiddelen nauwelijks commercieel verkrijgbaar. Dit heeft geleid tot een grote varieteit aan onderling weinig compatibele computerprogramma’s, die niet voor alle onderzoekers even gemakkelijk toegankelijk zijn. Van groot belang is de onderlinge koppeling van ontwerpgegevens, simulatiemodellen en patronen van de voor de vervaardiging benodigde lithografische maskers. Om deze redenen is in het Innovatief Onderzoeksprogramma “Elektro-Optics” een samenwerkingsproject geinitieerd van groepen aan de Technische Universiteit Delft, de Universiteit Twente en PTT Research.


References

Lunch Lecture April hosted by…

Theme: Concept optimization of system dynamics of a lithography tool.

Read more
Historical view on determinism and…

Paralleling the historical beginnings of modern science, assessing and addressing variation in physical systems constitutes the foundation of precision engineering. Tycho Brahe gave us the measurement data to analyse the heavens.

Read more
Sensor for picometer-scale positioning in…

As technology reaches the atomic and quantum scale, sub-nanometer motion control is no longer optional – it is a necessity, often in vacuum environments where even the smallest disturbances are effectively suppressed.

Read more