Ontwerp en temperatuurregeling voor nanometerprecisie

Electronics Medical technology Precision-technology
Mikroniek 6-2006 by Sjef Box 22 July 2007

De huidige IC-productiemachines van ASML draaien op een dergelijke accuratesse dat een positioneringsnauwkeurigheid in de orde van een nanometer is benodigd. Dit stelt zeer hoge eisen aan stijfheid en dynamica, maar zeker ook aan de thermo-mechanica van het ontwerp. Daarbij dienen naast de thermische uitzetting ook andere thermische en thermomechanische kenmerken te worden meegenomen.Tevens is het van belang de wijze van thermisch conditioneren af te stemmen op het thermo-mechanisch gedrag en vice versa. Slechts dan vindt een goede afweging plaats en kan het beste concept worden gekozen.


References

May 30 DSPE Knowledge day…

Please be invited to the upcoming DSPE Knowledge Day at Settels Savenije Eindhoven.

Read more
Lunch lecture May hosted by…

Precision in roll -2- roll electronics

Read more
YPN visited Kulicke & Soffa…

The Young Precision Network (YPN) - part of the DSPE community - organises events for young professionals and students. On Thursday February 1st, YPN organised a visit to Kulicke & Soffa in Eindhoven.

Read more