Monolitische rechtgeleiding

Mechanics Micro system technology MEMS/NEMS Precision-technology
Mikroniek 6-1998 by J. van Seggelen, R. Dumoulin 27 April 2006

Monolitische rechtgeleiding met gatscharnieren, waarvan de beweging overeenkomt met die van een ideaal vierstangenmechanisme met geleijke pootlengten, blijken uitermate gechikt voor toepassingen waarin een evenwijdige verplaatsing op microschaal wordt gevraagd. Maar omdat de nauwkeurigheidseisen gestaag toenemen, werd het van belang het bewegingsgedrag van dit type rechtsgeleiding in het nanameter-gebied te onderzoeken.


References

Call for abstracts! DSPE Conference…

The call for abstracts is open until 15 February 2025.

Read more
Lunch lecture November hosted by…

The title of this lunch lecture is: Potential of fault diagnosis and predictive maintenance for precision mechatronics

Read more
QUADRA: metrology for the ongoing…

The semiconductor roadmap is currently fuelled by innovations along three trends

Read more