Monolitische rechtgeleiding

Mechanics Micro system technology MEMS/NEMS Precision-technology
Mikroniek 6-1998 by J. van Seggelen, R. Dumoulin 27 April 2006

Monolitische rechtgeleiding met gatscharnieren, waarvan de beweging overeenkomt met die van een ideaal vierstangenmechanisme met geleijke pootlengten, blijken uitermate gechikt voor toepassingen waarin een evenwijdige verplaatsing op microschaal wordt gevraagd. Maar omdat de nauwkeurigheidseisen gestaag toenemen, werd het van belang het bewegingsgedrag van dit type rechtsgeleiding in het nanameter-gebied te onderzoeken.


References

Order of frictions and stiffnesses…

For lumped systems consisting of different frictions and stiffnesses, there has been confusion in literature about hysteresis curves and virtual play for many decades.

Read more
Make it clean

In mid-April, the second edition of the Manufacturing Technology Conference and the fifth edition of the Clean Event were held together, for the first time, at the Koningshof in Veldhoven (NL).

Read more
Bringing particles to light

Particle contamination monitoring and cleanliness control are fundamental to micromanufacturing processes across diverse industries to achieve cost-effective production of high-quality and reliable microscale devices and components.

Read more