Microactuators voor scanspiegels

Voor veel toepassingen, zoals het afbuigen van een laserbundel, het scannen van een voorwerp en de projectie van (TV-)beelden zijn spiegelactuators met speciale eigenschappen gewenst. Dankzij precisie ets- en galvanotechnologie kunnen dergelijke apparaatjes tegen geringe kosten in massa worden vervaardigd. Een grote varieteit aan spiegelactuators is de afgelopen jaren ontwikkeld. Dit artikel geeft een overzicht over de functionele principes en de fabricagetechnologie. Tevens zullen de technologische voor- en nadelen besproken worden.