Micro Totaal Analysesystemen

Chemical technology Micro system technology MEMS/NEMS Sensors
Mikroniek 3-1995 by A. van den Berg, Theo Lammerink 27 April 2006

Revolutionaire ontwikkelingen op het gebied van (silicium) micromechanica en chemische microsensoren maken het mogelijk analysers op zakformaat te realiseren. De te ontwikkelen apparatuur wordt kleiner en kleiner, terwijl de prestatie gelijk blijven of zelfs verbeteren. Er komt een heel scala van nieuwe toepassingen in zicht, varierend van draagbare gaschromatografen tot milieumonitoren op creditcard-formaat.


References

Lunch Lecture April hosted by…

Theme: Concept optimization of system dynamics of a lithography tool.

Read more
Historical view on determinism and…

Paralleling the historical beginnings of modern science, assessing and addressing variation in physical systems constitutes the foundation of precision engineering. Tycho Brahe gave us the measurement data to analyse the heavens.

Read more
Sensor for picometer-scale positioning in…

As technology reaches the atomic and quantum scale, sub-nanometer motion control is no longer optional – it is a necessity, often in vacuum environments where even the smallest disturbances are effectively suppressed.

Read more