Micro-miniatuurkoeler voor detectoren

Micro system technology MEMS/NEMS
Mikroniek 3-1985, Photonics Spectra by R. Wolfe, R.M. Duboc jr. 27 April 2006

Het koelen van detectoren verlaagt hun ruisniveau, waardoor het detectieniveau verbetert. De koelers daarvoor zijn dan ook vitale onderdelen van bepaalde instrumenten. Als medium is hiervoor reeds lang vloeibare stikstof uit voorraadvaten de eerste keus. Traditionele Joule-Thomson cryostaten, gemaakt van aan geribde buis gesoldeerde capillaire pijp, worden voor militaire doeleinden bij duizenden gebruikt om infrarood-detectoren te koelen. Zij vinden ook commerci?le toepassing, zoals in infrarood-camera’s en wetenschappelijke instrumenten. In het volgende wordt een verdere miniaturisatie beschreven, gebaseerd op werkwijzen zoals ondermeer toegepast bij de halfgeleiderfabricage, waarbij dezelfde thermodynamische principes zijn toegepast als bij de Joule-Thomson cryostaten, maar een verdere vergelijking houdt daarmee op. In veel toepassingen geven zij voordelen wat betreft afmetingen en gewicht en dikwijls ook in prijs en prestatie.


References

Lunch Lecture April hosted by…

Theme: Concept optimization of system dynamics of a lithography tool.

Read more
Historical view on determinism and…

Paralleling the historical beginnings of modern science, assessing and addressing variation in physical systems constitutes the foundation of precision engineering. Tycho Brahe gave us the measurement data to analyse the heavens.

Read more
Sensor for picometer-scale positioning in…

As technology reaches the atomic and quantum scale, sub-nanometer motion control is no longer optional – it is a necessity, often in vacuum environments where even the smallest disturbances are effectively suppressed.

Read more