Materialen met lage uitzettingscoefficient ten behoeve van het maken meetapparatuur van hoge precisie

Dit artikel beschrijft de werking en de mechanische constructie van een instrument waarmee de vorm van asferische oppervlakten met 5nm deviatie gemeten kan worden. De werking ervan berust op het principe van de optische differentiaalmeting. Om maximale nauwkeurigheid te bereiken is dit instrument gebouwd in glaskeramiek (Zerodur) en Invar. Aandacht wordt gechonken aan de selectie van deze thermisch stabiele materialen en de bewerking ervan.