Materialen met lage uitzettingscoefficient ten behoeve van het maken meetapparatuur van hoge precisie

Materials Sensors
Mikroniek 5-1985 by R. Brehm, J.C. Driessen, P.W. van Grootel, T.G. Gijsbers 27 April 2006

Dit artikel beschrijft de werking en de mechanische constructie van een instrument waarmee de vorm van asferische oppervlakten met 5nm deviatie gemeten kan worden. De werking ervan berust op het principe van de optische differentiaalmeting. Om maximale nauwkeurigheid te bereiken is dit instrument gebouwd in glaskeramiek (Zerodur) en Invar. Aandacht wordt gechonken aan de selectie van deze thermisch stabiele materialen en de bewerking ervan.

Download Mikroniek 5-1985
Back to overview

References

Lunch Lecture April hosted by…

Theme: Concept optimization of system dynamics of a wafer metrology tool

Read more
Historical view on determinism and…

Paralleling the historical beginnings of modern science, assessing and addressing variation in physical systems constitutes the foundation of precision engineering. Tycho Brahe gave us the measurement data to analyse the heavens.

Read more
Sensor for picometer-scale positioning in…

As technology reaches the atomic and quantum scale, sub-nanometer motion control is no longer optional – it is a necessity, often in vacuum environments where even the smallest disturbances are effectively suppressed.

Read more