LIGA techniek

Mechanics Micro system technology MEMS/NEMS Precision-technology
Mikroniek 1-1994 by M.C.Dierselhuis 27 April 2006

De met rontgenLIthografie, Galvanische vormgeving en Afscheiding (Duits: Abformung) gebaseerde LIGA-techniek maakt de vervaardiging van driedimensionale microstructuren industrieel mogelijk. LIGA-produkten zijn inmiddels commercieel verkrijgbaar. Op grond van de hoge mate van ontwerpvrijheid en de in verhouding tot het gebruikelijke silicium brede materiaalspectrum, opent zich een breed scala van toepassingsmogelijkheden. Dit geldt voor medische, telecommunicatie en fijnmechanische en consumentenprodukten en de automobielbranche.


References

Picometer drift and microrad reproducibility

At the end of May, Settels Savenije hosted a DSPE Knowledge Day dedicated to challenges in nanometrology.

Read more
Order of frictions and stiffnesses…

For lumped systems consisting of different frictions and stiffnesses, there has been confusion in literature about hysteresis curves and virtual play for many decades.

Read more
Make it clean

In mid-April, the second edition of the Manufacturing Technology Conference and the fifth edition of the Clean Event were held together, for the first time, at the Koningshof in Veldhoven (NL).

Read more