LIGA techniek

Mechanics Micro system technology MEMS/NEMS Precision-technology
Mikroniek 1-1994 by M.C.Dierselhuis 27 April 2006

De met rontgenLIthografie, Galvanische vormgeving en Afscheiding (Duits: Abformung) gebaseerde LIGA-techniek maakt de vervaardiging van driedimensionale microstructuren industrieel mogelijk. LIGA-produkten zijn inmiddels commercieel verkrijgbaar. Op grond van de hoge mate van ontwerpvrijheid en de in verhouding tot het gebruikelijke silicium brede materiaalspectrum, opent zich een breed scala van toepassingsmogelijkheden. Dit geldt voor medische, telecommunicatie en fijnmechanische en consumentenprodukten en de automobielbranche.


References ...

Going for ECP2 Gold: A journey of technical growth and lifelong learning

In June, Moiz Hyderabadwala, Senior Researcher at ASML Research, received the ECP2 Silver certificate, awarded through the European Certified Precision Engineering Course Programme (ECP2), a collaboration between Euspen and DSPE.

Read more
Mastering thin metal production for mass-manufactured energy systems

The successful transition to a sustainable energy future hinges on the industrialisation of advanced energy-conversion technologies.

Read more
Mikroniek June 2026: Design for Sustainability

The June issue of Mikroniek is devoted to Design for Sustainability. The main theme article presents the challenges of thin metal production for mass-manufactured energy systems.

Read more