LIGA techniek

Mechanics Micro system technology MEMS/NEMS Precision-technology
Mikroniek 1-1994 by M.C.Dierselhuis 27 April 2006

De met rontgenLIthografie, Galvanische vormgeving en Afscheiding (Duits: Abformung) gebaseerde LIGA-techniek maakt de vervaardiging van driedimensionale microstructuren industrieel mogelijk. LIGA-produkten zijn inmiddels commercieel verkrijgbaar. Op grond van de hoge mate van ontwerpvrijheid en de in verhouding tot het gebruikelijke silicium brede materiaalspectrum, opent zich een breed scala van toepassingsmogelijkheden. Dit geldt voor medische, telecommunicatie en fijnmechanische en consumentenprodukten en de automobielbranche.


References

Call for abstracts! DSPE Conference…

The call for abstracts is open until 15 February 2025.

Read more
Lunch lecture November hosted by…

The title of this lunch lecture is: Potential of fault diagnosis and predictive maintenance for precision mechatronics

Read more
QUADRA: metrology for the ongoing…

The semiconductor roadmap is currently fuelled by innovations along three trends

Read more