Kunststof MEMS-structuren – Summary

Chemical technology Fysics Materials
IOP by Andreas Dietzel 28 October 2010

Het basismateriaal van MEMS is vrijwel altijd silicium, een dure grondstof die kostbare verwerkingsstappen vereist. Het zou veel goedkoper zijn als MEMS-structuren van kunststof worden gemaakt. Onderzoekers van de TU/e bogen zich over de vraag hoe je actieve microstructuren en masse in kunststof kunt aanbrengen en ontwikkelden een demonstrator, gebaseerd op drie dunne lagen. Onderzoek naar assemblagemethodes vindt nog plaats.


References

DSPE appoints Martin van den…

Upon his retirement from ASML, Martin van den Brink was appointed honorary member of DSPE.

Read more
High-velocity innovation

Making crucial design decisions early in the concept phase of a project, may lead to severe cost and time overruns when these decisions are based on assumptions and/or incomplete knowledge.

Read more
Hybrid variable-reluctance actuator technology on-sky

Astronomers use deformable mirrors to improve the image of a telescope by correcting for the optical distortions caused by atmospheric turbulence.

Read more