Kunststof MEMS-structuren – Factsheet

Het basismateriaal van MEMS is vrijwel altijd silicium, een dure grondstof die kostbare verwerkingsstappen vereist. Het zou veel goedkoper zijn als MEMS-structuren van kunststof worden gemaakt. Onderzoekers van de TU/e bogen zich over de vraag hoe je actieve microstructuren en masse in kunststof kunt aanbrengen en ontwikkelden een demonstrator, gebaseerd op drie dunne lagen. Onderzoek naar assemblagemethodes vindt nog plaats.