In twee dimensies, over X- en Y-as met een liniaal

Precision-technology Sensors
Mikroniek 2009-2 by DR. JOHANNES HEIDENHAIN GmbH 13 June 2011

Maatafwijkingen, veroorzaakt door afwijkingen in de geleiding en als gevolg van thermische uitzetting, waren voorheen meestal onvoldoende te compenseren. Nu kunnen deze afwijkingen met behulp van een nieuw meetsysteem van HEIDENHAIN worden gemeten en daardoor verminderd.


References

Lunch Lecture April hosted by…

Theme: Concept optimization of system dynamics of a lithography tool.

Read more
Historical view on determinism and…

Paralleling the historical beginnings of modern science, assessing and addressing variation in physical systems constitutes the foundation of precision engineering. Tycho Brahe gave us the measurement data to analyse the heavens.

Read more
Sensor for picometer-scale positioning in…

As technology reaches the atomic and quantum scale, sub-nanometer motion control is no longer optional – it is a necessity, often in vacuum environments where even the smallest disturbances are effectively suppressed.

Read more