Fotochemische metaalbewerking. Het meerfasen-etsen

Manufacturing Precision-technology
Mikroniek 6-1991 by F.J.I.M. van Rongen 27 April 2006

De sectie Micro-techniek van de Facul- teit der Werktuigbouwkunde en Mari- tieme techniek van de T.U. Delft heeft de beschikking over een laboratorium voor Micro-bewerkingen. In dit labora- torium is een uitgebreide faciliteit voor fotochemische metaalbewerking onder- gebracht. De techniek van het foto-etsen is bii uit- stek geschikt om op snelle wijze fijnme- chanische constructie-elementen te ver- vaardigen uit dun plaatmateriaal. De hieronder beschreven Produkten hebben alle iets te maken met het meerfa- sen-etsen.


References

Lunch Lecture April hosted by…

Theme: Concept optimization of system dynamics of a lithography tool.

Read more
Historical view on determinism and…

Paralleling the historical beginnings of modern science, assessing and addressing variation in physical systems constitutes the foundation of precision engineering. Tycho Brahe gave us the measurement data to analyse the heavens.

Read more
Sensor for picometer-scale positioning in…

As technology reaches the atomic and quantum scale, sub-nanometer motion control is no longer optional – it is a necessity, often in vacuum environments where even the smallest disturbances are effectively suppressed.

Read more