Elektronen tonen het bewerken met ionen

Electronics Mechanics
Mikroniek 6 2007 by Frans Zuurveen 10 December 2008

Een mooi huwelijk zou je het samengaan van Philips Electron Optics en FEI Company in 1997 kunnen noemen. Hun specialisaties vullen elkaar naadloos aan: Philips Electron Optics produceert sinds 1949 elektronenmicroscopen en FEI Company levert sinds 1971 ionenbundelsystemen. Met de laatste kunnen producten op micrometer- en zelfs nanoschaal worden bewerkt en vervolgens met een scanning-elektronenmicroscoop bekeken. Integratie van deze apparaten heeft de DualBeam opgeleverd, waarmee in één preparaatruimte ultrafijne bewerkingen tot stand komen, die direct met hoge resolutie kunnen worden waargenomen.


References

Lunch Lecture April hosted by…

Theme: Concept optimization of system dynamics of a lithography tool.

Read more
Historical view on determinism and…

Paralleling the historical beginnings of modern science, assessing and addressing variation in physical systems constitutes the foundation of precision engineering. Tycho Brahe gave us the measurement data to analyse the heavens.

Read more
Sensor for picometer-scale positioning in…

As technology reaches the atomic and quantum scale, sub-nanometer motion control is no longer optional – it is a necessity, often in vacuum environments where even the smallest disturbances are effectively suppressed.

Read more