Een luchtgelagerde precisiespil

In overleg met Hembrug BV te Haarlem is onder verantwoording van Philips Machinefabriek Acht een luchtgelagerde spil ontworpen en gebouwd voor de ultraprecise draaimachine. Met een diamantbeitel kunnen op deze machine computerdisks worden nagedraaid met een vlakheid beter dan 100nm. Het ontwerp en de ontwikkeling van de luchtgelagerde spil wordt in dit artikel besproken.

Download Mikroniek 4-1993

Back to overview

We use cookies to improve your experience on our website

References

Lunch Lecture April hosted by…

Theme: Concept optimization of system dynamics of a lithography tool.

Historical view on determinism and…

Paralleling the historical beginnings of modern science, assessing and addressing variation in physical systems constitutes the foundation of precision engineering. Tycho Brahe gave us the measurement data to analyse the heavens.

Sensor for picometer-scale positioning in…

As technology reaches the atomic and quantum scale, sub-nanometer motion control is no longer optional – it is a necessity, often in vacuum environments where even the smallest disturbances are effectively suppressed.