Een lineaire piezomotor

Control Mechanics Precision-technology
Mikroniek 6-1993 by M.P.Koster, A.Visscher 27 April 2006

In het volgende zullen we een lineaire piezomotor (LPM) beschrijven die zijn aandrijving ontleent aan de nieuwe CMA’s en die berust op een soort wandelmechanisme. Het principe van een “wandelende piezo motor” is niet nieuw. Dat is wel het geval met de hier beschreven combinatie van dit principe met een mechanisch versterkingsprincipe, met doel de prestaties van de piezo-electrische actuator zo te beinvloeden dat een verhoudingsgewijs hoge wandelsnelheid wordt verkregen.


References

Lunch Lecture April hosted by…

Theme: Concept optimization of system dynamics of a wafer metrology tool

Read more
Historical view on determinism and…

Paralleling the historical beginnings of modern science, assessing and addressing variation in physical systems constitutes the foundation of precision engineering. Tycho Brahe gave us the measurement data to analyse the heavens.

Read more
Sensor for picometer-scale positioning in…

As technology reaches the atomic and quantum scale, sub-nanometer motion control is no longer optional – it is a necessity, often in vacuum environments where even the smallest disturbances are effectively suppressed.

Read more