Een eigen sensor of microstructuur

Sensors
Mikroniek 4-1998 by S. van Heerwaarden, F. van Heerwaarden 27 April 2006

In dit artikel komen de mogelijkheden aan de orde van toepassingenvan de technologoe waarmee chips worden gemaakt (siciliumtechnologie) voor het maken van microsensoren en microstructuren. Behuizingen voor sensoren worden kort aangestipt, evenals kostenaspecten. Tot slot wordt een uitgewerkt voorbeeld gegeven van de ontwikkeling van microstructuren voor de manipulatie van zeer kleine vloeistofvolumes


References

Call for abstracts! DSPE Conference…

The call for abstracts is open until 15 February 2025.

Read more
Lunch lecture November hosted by…

The title of this lunch lecture is: Potential of fault diagnosis and predictive maintenance for precision mechatronics

Read more
QUADRA: metrology for the ongoing…

The semiconductor roadmap is currently fuelled by innovations along three trends

Read more