Een eigen sensor of microstructuur

Sensors
Mikroniek 4-1998 by S. van Heerwaarden, F. van Heerwaarden 27 April 2006

In dit artikel komen de mogelijkheden aan de orde van toepassingenvan de technologoe waarmee chips worden gemaakt (siciliumtechnologie) voor het maken van microsensoren en microstructuren. Behuizingen voor sensoren worden kort aangestipt, evenals kostenaspecten. Tot slot wordt een uitgewerkt voorbeeld gegeven van de ontwikkeling van microstructuren voor de manipulatie van zeer kleine vloeistofvolumes


References

Mikroniek April 2026: Developments in…

The April issue of Mikroniek presents developments in dynamics. The main theme article introduces a bouncing stage concept that can circumvent actuator-force limits in precision positioning.

Read more
Young DSPE visits QED Technologies

The next Young DSPE company visit will take place at QED Technologies. Delft on Thursday 28th of May 2026.

Read more
Lunch lecture June hosted by…

The NASA IRTF Adaptive Secondary Mirror. Speaker: Arjo Bos, Senior Scientist & Expertise Lead Optomechanics

Read more
Intellectual property for engineers

Engineers working in high-tech solve complex technical problems every day. New algorithms, control strategies, hardware architectures, production methods and software tools are constantly being developed inside engineering teams.

Read more