Driedimensionaal meten van microstructuren

Micro system technology MEMS/NEMS Sensors
Mikroniek 3-2002, F&M Mechatronik 1-2/2002 by B. Kagerer 27 April 2006

Klein, kleiner, ultraklein.. allerkleinst? Miniaturisering in micro-elektronica, microsysteemtechniek en in de automobieltechniek stelt steeds hogere eisen aan de kwaliteit van oppervlakten. Voor het meten van ruwheid en microgeometriekan gebruik worden gemaakt van optische concepten, waarbij deze geschikt gemaakt zijn voor de hoge eisen die de moderne kwaliteitsbewaking aan precisiemeetinstrumentarium stelt.


References

Wim van der Hoek Award…

This year, the jury has received four nominations for students who applied existing or new design principles in their graduation work in an exciting manner.

Read more
Over 350 exhibitors, 6 themes…

The 2024 edition has six central themes: Mechatronic Engineering & Systems, Metrology, Vacuum & Clean, Micro Processing & Motion, Laser & Photonics, and Production for High Precision.

Read more
Nonlinear control takes over?

The ever increasing demands on precision and throughput in semiconductor manufacturing machines challenge today's linear control designs.

Read more