Driedimensionaal meten van microstructuren

Klein, kleiner, ultraklein.. allerkleinst? Miniaturisering in micro-elektronica, microsysteemtechniek en in de automobieltechniek stelt steeds hogere eisen aan de kwaliteit van oppervlakten. Voor het meten van ruwheid en microgeometriekan gebruik worden gemaakt van optische concepten, waarbij deze geschikt gemaakt zijn voor de hoge eisen die de moderne kwaliteitsbewaking aan precisiemeetinstrumentarium stelt.