Driedimensionaal meten van microstructuren

Micro system technology MEMS/NEMS Sensors
Mikroniek 3-2002, F&M Mechatronik 1-2/2002 by B. Kagerer 27 April 2006

Klein, kleiner, ultraklein.. allerkleinst? Miniaturisering in micro-elektronica, microsysteemtechniek en in de automobieltechniek stelt steeds hogere eisen aan de kwaliteit van oppervlakten. Voor het meten van ruwheid en microgeometriekan gebruik worden gemaakt van optische concepten, waarbij deze geschikt gemaakt zijn voor de hoge eisen die de moderne kwaliteitsbewaking aan precisiemeetinstrumentarium stelt.


References

May 30 DSPE Knowledge day…

Please be invited to the upcoming DSPE Knowledge Day at Settels Savenije Eindhoven.

Read more
Lunch lecture May hosted by…

Precision in roll -2- roll electronics

Read more
YPN visited Kulicke & Soffa…

The Young Precision Network (YPN) - part of the DSPE community - organises events for young professionals and students. On Thursday February 1st, YPN organised a visit to Kulicke & Soffa in Eindhoven.

Read more