Contactloosmeten van oppervlaktestructuren

Optics Sensors
Mikroniek 1-1992 by F.W.B.M.Galjee 27 April 2006

Bij de ontwikkeling van produkten is kennis van oppervlaktestructuur in de verschillende produktiestadia vaak essentieel. Beperken we ons tot kwantitatieve beschrijving van oppervlakken, dan kunnen de daarvoor beschikbare technieken worden ingedeeld in twee groepen, namelijk: de contact-meetmethoden en de contactloze meetmethoden. Een trend in de produktietechnologie is dat steeds vaker een beroep gedaan wordt op contactloze meettechnieken. Deze kunnen weer opgedeeld worden in optische en niet optische meettechnieken.Onder de optische meters die zich richten op het meten van oppervlakte structuren is een opdeling te maken naar het doel van de meting. Is de meting gericht op het bepalen van de vorm van het oppervlak, dan worden optische afstandsmters, zoals de triangulatiesensoren, gebruikt. Is de meting gericht op het meten van microtopografie of ruwheid van gladde objecten dan worden interferometrische topografische meters ingezet. Optische meters die zich richten op het meetgebied tussen het bepalen van de algemene vorm en en het bepalen van de microruwheid zijn de meters die de topografie van en oppervlak bepalen volgens het autofocusprincipe. Deze meters bestijken hetzelfde meetgebied als de niet-optische contactmeters van het naald- of stylustype.


References

Order of frictions and stiffnesses…

For lumped systems consisting of different frictions and stiffnesses, there has been confusion in literature about hysteresis curves and virtual play for many decades.

Read more
Make it clean

In mid-April, the second edition of the Manufacturing Technology Conference and the fifth edition of the Clean Event were held together, for the first time, at the Koningshof in Veldhoven (NL).

Read more
Bringing particles to light

Particle contamination monitoring and cleanliness control are fundamental to micromanufacturing processes across diverse industries to achieve cost-effective production of high-quality and reliable microscale devices and components.

Read more