Contactless product transport – Factsheet

Control Mechanics Micro system technology MEMS/NEMS
IOP by Ron van Ostayen 28 October 2010

Producten zoals wafers of silicium zonnecellen zijn bijzonder kwetsbaar. Om de kans op productbeschadiging te minimaliseren, is elk contact ongewenst. Daarom ontwikkelen Delftse onderzoekers een systeem dat fragiele vlakke producten kan transporteren en positioneren zonder ze aan te raken. De producten zweven namelijk op lucht. De werking van het concept is met demonstrators aangetoond. Daarmee kan een product in één richting worden gepositioneerd. Het is de bedoeling van de onderzoekers dat een nog te ontwikkelen demonstrator kan positioneren met 6 graden van vrijheid.


References

Lunch Lecture April hosted by…

Theme: Concept optimization of system dynamics of a wafer metrology tool

Read more
Historical view on determinism and…

Paralleling the historical beginnings of modern science, assessing and addressing variation in physical systems constitutes the foundation of precision engineering. Tycho Brahe gave us the measurement data to analyse the heavens.

Read more
Sensor for picometer-scale positioning in…

As technology reaches the atomic and quantum scale, sub-nanometer motion control is no longer optional – it is a necessity, often in vacuum environments where even the smallest disturbances are effectively suppressed.

Read more