Boekbespreking: Vacuumtechniek

Fysics Mechanics Precision-technology
Mikroniek 5/6-1990 by E.P.Th.M.Suurmeyer, J.Verhoeven 27 April 2006

Het inleidende hoofdstuk bevat de basisbegrippen van de vacu?mtechniek. Voor lezers zonder specifieke voorkennis wordt in het kort uitgelegd wat atomen zijn, het begrip vacu?m uitgelegd en wordt een inleiding in de kinetische gastheorie gegeven De voor de vacu?mtechniek belangrijke begrippen worden hier gepresenteerd De wetten van Boyle/ Gay-Lussac, Dalton en Avogadro komen aan bod. Uitgebreid wordt stilgestaan bij de verschillende aggregatietoestanden en bij desorptie, ad- en absorptieverschipselen. Het spreekt voor zich dat een goed begrip hiervan nodig is voor het doorgronden van de problematiek in de vacu?mtechniek. Men denke bijvoorbeeld aan ontgassing en uitstoken. Het tweede hoofdstuk is gewijd aan stroomberekeningen in de vacu?mtechniek…


References

Wim van der Hoek Award…

This year, the jury has received four nominations for students who applied existing or new design principles in their graduation work in an exciting manner.

Read more
Over 350 exhibitors, 6 themes…

The 2024 edition has six central themes: Mechatronic Engineering & Systems, Metrology, Vacuum & Clean, Micro Processing & Motion, Laser & Photonics, and Production for High Precision.

Read more
Nonlinear control takes over?

The ever increasing demands on precision and throughput in semiconductor manufacturing machines challenge today's linear control designs.

Read more