Analytische electronenmicroscopie

Electronics Optics Precision-technology
Mikroniek 4-1994 by R.Keim 27 April 2006

Een microscoop is een optisch systeem dat een voorwerp vergroot afbeeldt. De geschiedenis van de electronenmicroscoop begint ruim 50 jaar geleden. Een belangrijke drijfveer voor de ontwikkeling van de electronenmicroscoop was het verlangen een aantal beperkingen van de gewone microscoop te overwinnen. Door gebruik te maken van electronen met golflengte die veel kleiner zijn dan 0,1 nm zou het mogelijk moeten zijn het ruimtelijk oplossend vermogen van de lichtmicroscoop sterk te verbeteren. Dit is inderdaad zo gebleken. Bovendien ging het scherpte-diepte-bereik er belangrijk op vooruit ten opzichte van een lichtmicroscoop bij eenzelfde vergroting. Mede hierdoor zijn twee typen electronenmicroscopen zeer snel tot ontwikkeling gekomen. Het zijn de Transmissie Elektronen Microscoop (TEM) en de Scanning (=raster) Elektronen Microscoop (SEM).


References

Lunch Lecture April hosted by…

Theme: Concept optimization of system dynamics of a lithography tool.

Read more
Historical view on determinism and…

Paralleling the historical beginnings of modern science, assessing and addressing variation in physical systems constitutes the foundation of precision engineering. Tycho Brahe gave us the measurement data to analyse the heavens.

Read more
Sensor for picometer-scale positioning in…

As technology reaches the atomic and quantum scale, sub-nanometer motion control is no longer optional – it is a necessity, often in vacuum environments where even the smallest disturbances are effectively suppressed.

Read more