Analytische electronenmicroscopie

Electronics Optics Precision-technology
Mikroniek 4-1994 by R.Keim 27 April 2006

Een microscoop is een optisch systeem dat een voorwerp vergroot afbeeldt. De geschiedenis van de electronenmicroscoop begint ruim 50 jaar geleden. Een belangrijke drijfveer voor de ontwikkeling van de electronenmicroscoop was het verlangen een aantal beperkingen van de gewone microscoop te overwinnen. Door gebruik te maken van electronen met golflengte die veel kleiner zijn dan 0,1 nm zou het mogelijk moeten zijn het ruimtelijk oplossend vermogen van de lichtmicroscoop sterk te verbeteren. Dit is inderdaad zo gebleken. Bovendien ging het scherpte-diepte-bereik er belangrijk op vooruit ten opzichte van een lichtmicroscoop bij eenzelfde vergroting. Mede hierdoor zijn twee typen electronenmicroscopen zeer snel tot ontwikkeling gekomen. Het zijn de Transmissie Elektronen Microscoop (TEM) en de Scanning (=raster) Elektronen Microscoop (SEM).


References

Call for abstracts! DSPE Conference…

The call for abstracts is open until 15 February 2025.

Read more
Lunch lecture November hosted by…

The title of this lunch lecture is: Potential of fault diagnosis and predictive maintenance for precision mechatronics

Read more
QUADRA: metrology for the ongoing…

The semiconductor roadmap is currently fuelled by innovations along three trends

Read more