Analytische electronenmicroscopie

Electronics Optics Precision-technology
Mikroniek 4-1994 by R.Keim 27 April 2006

Een microscoop is een optisch systeem dat een voorwerp vergroot afbeeldt. De geschiedenis van de electronenmicroscoop begint ruim 50 jaar geleden. Een belangrijke drijfveer voor de ontwikkeling van de electronenmicroscoop was het verlangen een aantal beperkingen van de gewone microscoop te overwinnen. Door gebruik te maken van electronen met golflengte die veel kleiner zijn dan 0,1 nm zou het mogelijk moeten zijn het ruimtelijk oplossend vermogen van de lichtmicroscoop sterk te verbeteren. Dit is inderdaad zo gebleken. Bovendien ging het scherpte-diepte-bereik er belangrijk op vooruit ten opzichte van een lichtmicroscoop bij eenzelfde vergroting. Mede hierdoor zijn twee typen electronenmicroscopen zeer snel tot ontwikkeling gekomen. Het zijn de Transmissie Elektronen Microscoop (TEM) en de Scanning (=raster) Elektronen Microscoop (SEM).


References

Wim van der Hoek Award…

This year, the jury has received four nominations for students who applied existing or new design principles in their graduation work in an exciting manner.

Read more
Over 350 exhibitors, 6 themes…

The 2024 edition has six central themes: Mechatronic Engineering & Systems, Metrology, Vacuum & Clean, Micro Processing & Motion, Laser & Photonics, and Production for High Precision.

Read more
Nonlinear control takes over?

The ever increasing demands on precision and throughput in semiconductor manufacturing machines challenge today's linear control designs.

Read more