Samenvatting, IOP NANOMEFOS

Om de absolute vorm van freeform en asferische optische oppervlakken te kunnen verifiëren, is een systeem nodig dat deze nauwkeurig kan meten. In deze lacune is voorzien door het IOP-project NANOMEFOS (Nanometer Accuracy NOn-contact MEasurement of Freeform Optical Surfaces). TNO heeft de gelijknamige meetmachine inmiddels in gebruik genomen, en is er een commercialisatietraject voor gestart. De universele contactloze meetmachine kan free-form optische oppervlakken tot 500 mm diameter meten met een meetonzekerheid van 30 nanometer.