Samenvatting, IOP Multi-axis microstage

Electronics Micro system technology MEMS/NEMS Optics
IOP by Herman Soemers 28 November 2008

Nauwkeurig kunnen manipuleren van kleine objecten in het sub-micronbereik is van groot belang voor toepassingen als dataopslag, microassemblage en elektronenmicroscopie. Het daarvoor benodigde systeem – bestaande uit sensoren, actuatoren, mechanische onderdelen en regeltechniek – wordt echter steeds groter. In dit IOP-project onderzocht de Universiteit Twente de mogelijkheden van MEMS-procestechnologie om een micromanipulator met zes graden van vrijheid te realiseren voor een microstage in een transmissie elektronenmicroscoop. Het project heeft geresulteerd in een groot aantal ontwerpprincipes voor nauwkeurige mechanismen in MEMS, MEMS-technologieën voor robuuste elastische mechanismen en een verbeterd ontwerp van MEMS-actuatoren. Er zijn twee oplossingen uitgewerkt en uitgevoerd in MEMS. Een vervolgproject. mede gefinancierd door Point-One, wordt uitgevoerd door de Universiteit Twente, Demcon en FEI Electron Optics.


References

First ECP2 Silver certificate lays…

Recently, the first ECP2 Silver certificate was awarded. ECP2 is the European certified precision engineering course programme that emerged from a collaboration between euspen and DSPE.

Read more
DSPE appoints Martin van den…

Upon his retirement from ASML, Martin van den Brink was appointed honorary member of DSPE.

Read more
High-velocity innovation

Making crucial design decisions early in the concept phase of a project, may lead to severe cost and time overruns when these decisions are based on assumptions and/or incomplete knowledge.

Read more