Positioneren m.b.v. Surface Acoustic Waves

Mechanics
IOP by P.C.Breedveld, M.P. Koster, P.P.L. Regtien, D.J. Schipper 27 April 2006

Het probleem is om een schone en nauwkeurige actuator te cre?ren ten behoeve van bijvoorbeeld een waferstage. Daarbij kan het ook nodig zijn om in vacu?m te werken en zonder de aanwezigheid van magneetvelden. In dit project wordt nagegaan of dit probleem opgelost kan worden met behulp van een actuator die berust op het principe van akoestische oppervlaktegolven.


References

DSPE appoints Martin van den…

Upon his retirement from ASML, Martin van den Brink was appointed honorary member of DSPE.

Read more
High-velocity innovation

Making crucial design decisions early in the concept phase of a project, may lead to severe cost and time overruns when these decisions are based on assumptions and/or incomplete knowledge.

Read more
Hybrid variable-reluctance actuator technology on-sky

Astronomers use deformable mirrors to improve the image of a telescope by correcting for the optical distortions caused by atmospheric turbulence.

Read more