Piezo-aangedreven vervormbare spiegel

In het algemeen wordt een optisch systeem gevormd door een samenstel van een aantal starre lenzen en spiegels. In een aantal gevallen kunnen de optische elementen ten opzichte van elkaar bewogen worden, zodat het optische systeem een bepaald bereik krijgt en niet slechts in een bepaald werkpunt functioneert. Bekende voorbeelden zijn de verrekijker en het fototoestel. Voor hoogwaardige optische systemen, zoals die onder andere voorkomen in de ruimtevaart, in de astronomie, de laserindustrie en ook in de lithografische industrie, kan het starre karakter van de optische elementen een beperking vormen. <br />Een overzicht wordt gegeven van een aantal abberaties en een concept-ontwerp van eenpiezo-aangedreven vervormbare spiegel.