Piezo-aangedreven vervormbare spiegel

Micro system technology MEMS/NEMS Precision-technology
Mikroniek 5-1997 by G.van Schothorst 27 April 2006

In het algemeen wordt een optisch systeem gevormd door een samenstel van een aantal starre lenzen en spiegels. In een aantal gevallen kunnen de optische elementen ten opzichte van elkaar bewogen worden, zodat het optische systeem een bepaald bereik krijgt en niet slechts in een bepaald werkpunt functioneert. Bekende voorbeelden zijn de verrekijker en het fototoestel. Voor hoogwaardige optische systemen, zoals die onder andere voorkomen in de ruimtevaart, in de astronomie, de laserindustrie en ook in de lithografische industrie, kan het starre karakter van de optische elementen een beperking vormen. <br />Een overzicht wordt gegeven van een aantal abberaties en een concept-ontwerp van eenpiezo-aangedreven vervormbare spiegel.


References

DSPE appoints Martin van den…

Upon his retirement from ASML, Martin van den Brink was appointed honorary member of DSPE.

Read more
High-velocity innovation

Making crucial design decisions early in the concept phase of a project, may lead to severe cost and time overruns when these decisions are based on assumptions and/or incomplete knowledge.

Read more
Hybrid variable-reluctance actuator technology on-sky

Astronomers use deformable mirrors to improve the image of a telescope by correcting for the optical distortions caused by atmospheric turbulence.

Read more