Piezo-aangedreven vervormbare spiegel

Micro system technology MEMS/NEMS Precision-technology
Mikroniek 5-1997 by G.van Schothorst 27 April 2006

In het algemeen wordt een optisch systeem gevormd door een samenstel van een aantal starre lenzen en spiegels. In een aantal gevallen kunnen de optische elementen ten opzichte van elkaar bewogen worden, zodat het optische systeem een bepaald bereik krijgt en niet slechts in een bepaald werkpunt functioneert. Bekende voorbeelden zijn de verrekijker en het fototoestel. Voor hoogwaardige optische systemen, zoals die onder andere voorkomen in de ruimtevaart, in de astronomie, de laserindustrie en ook in de lithografische industrie, kan het starre karakter van de optische elementen een beperking vormen. <br />Een overzicht wordt gegeven van een aantal abberaties en een concept-ontwerp van eenpiezo-aangedreven vervormbare spiegel.


References

Café Eureka next edition on…

Café Eureka offers Young Professionals the place to be together and to gain experiences with an interactive interview with an inspiring guest.

Read more
Lunch Lecture September hosted by…

Beam steering: 20x increase in angular range of plane mirror interferometers.

Read more
Wim van der Hoek Award…

To mark the 20th anniversary of the Wim van der Hoek Award, we will dive into history by posting interviews with previous winners.

Read more