Picodriftmeter en verplaatsingsinterferometrie – Factsheet

Precision-technology Sensors
IOP by Rob Munnig Schmidt, Dario Lo Cascio 28 October 2010

De lengtemeettechniek is zo ver geëvolueerd, dat hinder ontstaat door onbedoelde beweging – drift – op picometerniveau. Het IOP-project Picodriftmeter ontwikkelde een platform om deze picodrift te kunnen meten en een frequentiegestabiliseerde 3-frequentielaser. Daarbij is nauw samengewerkt met de onderzoekers van het gelijktijdig uitgevoerde IOP-project Verplaatsingsinterferometrie met sub-nanometer onzekerheid. Dit project – een vervolg op het eerder in Eindhoven uitgevoerde IOP-project Sub-nanometer interferometrie – resulteerde in een compacte laserinterferometer zonder periodieke fouten (< 20 pm) en met een dubbele resolutie dan een standaardinterferometer; op het ontwerp is patent aangevraagd. Andere resultaten zijn een redesign voor een vier keer zo korte Fabry-Pérot cavity en een gestabiliseerde lasergolflengtebron, die zich automatisch aanpast aan de veranderende brekingsindex in lucht.


References

Wim van der Hoek Award…

This year, the jury has received four nominations for students who applied existing or new design principles in their graduation work in an exciting manner.

Read more
Over 350 exhibitors, 6 themes…

The 2024 edition has six central themes: Mechatronic Engineering & Systems, Metrology, Vacuum & Clean, Micro Processing & Motion, Laser & Photonics, and Production for High Precision.

Read more
Nonlinear control takes over?

The ever increasing demands on precision and throughput in semiconductor manufacturing machines challenge today's linear control designs.

Read more