Ontwerp van een rechtgeleiding met een zeer lage eigenfrequentie

Mechanics Sensors
Mikroniek 1-1996 by A.Post 27 April 2006

Voor het meten van laagfrequente trillingen in een richting is een massa-veersysteem geschikt, met een lage eigenfrequentie en een graad van vrijheid. Aan de Universiteit van Twente is met behulp van een elastische energiecompensatie een robuuste rechtgeleiding ontworpen met een eigenfrequentie in de bewegingsrichting van 0,25 Hz en een eigenfrequentie loodrecht op de bewegingsrichting van 650 Hz. De afmetingen van de rechtgeleiding zijn 50x50x50 mm, de slag van de rechtgeleiding in de bewegingsrichting is +/- 0,5 mm. Eerst worden de achterliggende principes besproken en vervolgens wordt het uiteindelijke ontwerp toegelicht.


References

DSPE appoints Martin van den…

Upon his retirement from ASML, Martin van den Brink was appointed honorary member of DSPE.

Read more
High-velocity innovation

Making crucial design decisions early in the concept phase of a project, may lead to severe cost and time overruns when these decisions are based on assumptions and/or incomplete knowledge.

Read more
Hybrid variable-reluctance actuator technology on-sky

Astronomers use deformable mirrors to improve the image of a telescope by correcting for the optical distortions caused by atmospheric turbulence.

Read more