Nano-aandrijving, atomaire precisie bij millimeters slag

Control Micro system technology MEMS/NEMS Precision-technology
Mikroniek 6-1996 by V.Klocke, S.Kleindiek 27 April 2006

Met piezo-electrische kristallen kunnen minimum verplaatsingen van enkele nanometers gerealiseerd worden. de maximum slag is echter beperkt tot enkele micrometers, wat als een belangrijke beperking wordt ervaren. Voor grove positionering zijn verplaatsingen van millimeters noodzakelijk bij een acceptabele snelheid. Tot nu toe moest daartoe een extra aandrijving worden aangebracht. De hier besproken nanomotor heeft beide eigenschappen en is de kleinste aandrijfeenheid die een slag van millimeters combineert met atomaire precisie.


References

Professional education program (Microcredentials)

The aim of the DSPE professional education program is to equip professionals with the specialized knowledge, skills, and competencies needed to design and realize innovative (high tech) systems.

Read more
Techcafé met als thema Manufacturability

Dé plek om ongedwongen nieuwe contacten op te doen én onder het genot van een borrel en bitterbal te sparren over tech onderwerpen.

Read more
Marriage of opto-mechatronics and electron…

This year’s DSPE Opto-Mechatronics Symposium attracted some 100 participants from academia and industry, all of whom seized the opportunity for networking, meeting technical peers, and visiting an interesting small-scale exhibition.

Read more