Nano-aandrijving, atomaire precisie bij millimeters slag

Control Micro system technology MEMS/NEMS Precision-technology
Mikroniek 6-1996 by V.Klocke, S.Kleindiek 27 April 2006

Met piezo-electrische kristallen kunnen minimum verplaatsingen van enkele nanometers gerealiseerd worden. de maximum slag is echter beperkt tot enkele micrometers, wat als een belangrijke beperking wordt ervaren. Voor grove positionering zijn verplaatsingen van millimeters noodzakelijk bij een acceptabele snelheid. Tot nu toe moest daartoe een extra aandrijving worden aangebracht. De hier besproken nanomotor heeft beide eigenschappen en is de kleinste aandrijfeenheid die een slag van millimeters combineert met atomaire precisie.


References

May 30 DSPE Knowledge day…

Please be invited to the upcoming DSPE Knowledge Day at Settels Savenije Eindhoven.

Read more
Lunch lecture May hosted by…

Precision in roll -2- roll electronics

Read more
YPN visited Kulicke & Soffa…

The Young Precision Network (YPN) - part of the DSPE community - organises events for young professionals and students. On Thursday February 1st, YPN organised a visit to Kulicke & Soffa in Eindhoven.

Read more