Nano-aandrijving, atomaire precisie bij millimeters slag

Met piezo-electrische kristallen kunnen minimum verplaatsingen van enkele nanometers gerealiseerd worden. de maximum slag is echter beperkt tot enkele micrometers, wat als een belangrijke beperking wordt ervaren. Voor grove positionering zijn verplaatsingen van millimeters noodzakelijk bij een acceptabele snelheid. Tot nu toe moest daartoe een extra aandrijving worden aangebracht. De hier besproken nanomotor heeft beide eigenschappen en is de kleinste aandrijfeenheid die een slag van millimeters combineert met atomaire precisie.

Download Mikroniek 6-1996

Back to overview

We use cookies to improve your experience on our website

References

Order of frictions and stiffnesses…

For lumped systems consisting of different frictions and stiffnesses, there has been confusion in literature about hysteresis curves and virtual play for many decades.

Make it clean

In mid-April, the second edition of the Manufacturing Technology Conference and the fifth edition of the Clean Event were held together, for the first time, at the Koningshof in Veldhoven (NL).

Bringing particles to light

Particle contamination monitoring and cleanliness control are fundamental to micromanufacturing processes across diverse industries to achieve cost-effective production of high-quality and reliable microscale devices and components.