Nano-aandrijving, atomaire precisie bij millimeters slag

Control Micro system technology MEMS/NEMS Precision-technology
Mikroniek 6-1996 by V.Klocke, S.Kleindiek 27 April 2006

Met piezo-electrische kristallen kunnen minimum verplaatsingen van enkele nanometers gerealiseerd worden. de maximum slag is echter beperkt tot enkele micrometers, wat als een belangrijke beperking wordt ervaren. Voor grove positionering zijn verplaatsingen van millimeters noodzakelijk bij een acceptabele snelheid. Tot nu toe moest daartoe een extra aandrijving worden aangebracht. De hier besproken nanomotor heeft beide eigenschappen en is de kleinste aandrijfeenheid die een slag van millimeters combineert met atomaire precisie.


References

Lunch Lecture April hosted by…

Theme: Concept optimization of system dynamics of a wafer metrology tool

Read more
Historical view on determinism and…

Paralleling the historical beginnings of modern science, assessing and addressing variation in physical systems constitutes the foundation of precision engineering. Tycho Brahe gave us the measurement data to analyse the heavens.

Read more
Sensor for picometer-scale positioning in…

As technology reaches the atomic and quantum scale, sub-nanometer motion control is no longer optional – it is a necessity, often in vacuum environments where even the smallest disturbances are effectively suppressed.

Read more