Nano-aandrijving, atomaire precisie bij millimeters slag

Control Micro system technology MEMS/NEMS Precision-technology
Mikroniek 6-1996 by V.Klocke, S.Kleindiek 27 April 2006

Met piezo-electrische kristallen kunnen minimum verplaatsingen van enkele nanometers gerealiseerd worden. de maximum slag is echter beperkt tot enkele micrometers, wat als een belangrijke beperking wordt ervaren. Voor grove positionering zijn verplaatsingen van millimeters noodzakelijk bij een acceptabele snelheid. Tot nu toe moest daartoe een extra aandrijving worden aangebracht. De hier besproken nanomotor heeft beide eigenschappen en is de kleinste aandrijfeenheid die een slag van millimeters combineert met atomaire precisie.


References ...

Wim van der Hoek Award celebrates 20th anniversary

To mark the 20th anniversary of the Wim van der Hoek Award, we will dive into history by posting interviews (in Dutch) with previous winners.

Read more
DSPE Opto-Mechatronics Symposium 2026

The seventh edition of the DSPE Opto-Mechatronics Symposium will take place on 8 October 2026

Read more
Who will you recommend for the Wim van der Hoek Award 2026?

Recommend your best graduate before September 4, 2026

Read more