Nano-aandrijving, atomaire precisie bij millimeters slag

Control Micro system technology MEMS/NEMS Precision-technology
Mikroniek 6-1996 by V.Klocke, S.Kleindiek 27 April 2006

Met piezo-electrische kristallen kunnen minimum verplaatsingen van enkele nanometers gerealiseerd worden. de maximum slag is echter beperkt tot enkele micrometers, wat als een belangrijke beperking wordt ervaren. Voor grove positionering zijn verplaatsingen van millimeters noodzakelijk bij een acceptabele snelheid. Tot nu toe moest daartoe een extra aandrijving worden aangebracht. De hier besproken nanomotor heeft beide eigenschappen en is de kleinste aandrijfeenheid die een slag van millimeters combineert met atomaire precisie.


References ...

Even senior engineers learn from Opto-Mechanical System Design course

Next year, March, 15-17, the three-day Opto-Mechanical System Design course will be given once again in Eindhoven (NL). The DSPE initiative targets mechanical, mechatronic and optical engineers, offering a broad overview of this omnipresent and ever-more relevant multidiscipline.

Read more
DSPE Opto-Mechatronics Symposium 2026

The seventh edition of the DSPE Opto-Mechatronics Symposium will take place on 8 October 2026

Read more
Lunch Lecture September hosted by MI – Partners

Title: Observer-based modal control for over-actuated precision motion systems. Join this lecture digital on September 21 2026

Read more