Modelvorming in de Microsysteemtechnologie

Management Micro system technology MEMS/NEMS Precision-technology
Mikroniek 5-1995 by J. van Kuijk 27 April 2006

Het ontwerpproces in de micromechanica wijkt in belangrijke mate af van het conventionele ontwerpproces. Ten eerste bestaan er nauwlijks handboeken en constructie-elementen gebaseerd op normen zijn op een hand te tellen. Ten tweede zijn de fabricagemethoden afwijkend, bijvoorbeeld fotolithografische etsmethoden, of ze zijn nog in experimentele fase, bijvoorbeeld het microspuitgieten. Ten derde is er een aanzienlijke interactie tussen vakgebieden binnen een ontwerp. Dit betekend niet alleen dat de ontwerpen van vele markten thuis moet zijn, maar dat de onderdelen binnen een ontwerp uit verschillende vakgebieden komen of, met andere woorden, verschillende energiedomeinen ondervinden een interactie met elkaar.


References

Lunch Lecture April hosted by…

Theme: Concept optimization of system dynamics of a lithography tool.

Read more
Historical view on determinism and…

Paralleling the historical beginnings of modern science, assessing and addressing variation in physical systems constitutes the foundation of precision engineering. Tycho Brahe gave us the measurement data to analyse the heavens.

Read more
Sensor for picometer-scale positioning in…

As technology reaches the atomic and quantum scale, sub-nanometer motion control is no longer optional – it is a necessity, often in vacuum environments where even the smallest disturbances are effectively suppressed.

Read more