Micromechanica: ontwikkeling, achtergrond, mogelijkheden

Management Micro system technology MEMS/NEMS Precision-technology
Mikroniek 1-1990 by H.Leeuwis, E. van Woerkens 27 April 2006

De ontwikkeling in de techniek van het verkleinen spelen al jaren een rol op het gebied van de micro-elektronica. Bij de assemblagetechniek van mechanische structuren kan men nog niet spreken van een vergelijkbare ontwikkeling en is men ruwweg in het stadium van 30 jaar geleden toen de eerste vormen van inegratie van elektronische componenten ontwikkeld werden. De laatste jaren wordt echter als uitvloeisel van de Micro-elektronica ook aan verkleining en integratie van mechanische structuren gewerkt. Daarbij wordt gebruik gemaakt van bepaalde mechanische en fysische eigenschappen van het silicium die minder van belang zijn bij de toepassing in de micro-elektronica… Als de micromechanica eenzelfde ontwikkeling doormaakt als de siliciumtechnologie, dan zal er rond de eeuw wisseling sprake zijn van ongekende toepassingsmogelijkheden, die ingrijpend zijn voor onze leefwijze.


References

Lunch Lecture April hosted by…

Theme: Concept optimization of system dynamics of a wafer metrology tool

Read more
Historical view on determinism and…

Paralleling the historical beginnings of modern science, assessing and addressing variation in physical systems constitutes the foundation of precision engineering. Tycho Brahe gave us the measurement data to analyse the heavens.

Read more
Sensor for picometer-scale positioning in…

As technology reaches the atomic and quantum scale, sub-nanometer motion control is no longer optional – it is a necessity, often in vacuum environments where even the smallest disturbances are effectively suppressed.

Read more