Microfiltratie

Manufacturing Micro system technology MEMS/NEMS
Mikroniek 2-1995 by C.J.M. van Rijn, W.Nijdam 27 April 2006

Recente ontwikkelingen in de micromechanica maken het mogelijk miniatuurelementen te maken, zoals druk- en flowmeters, inkjet-nozzles, kleppen, vloeistofkanalen, verwarmingselementen, micropompen, mengers, mocrotandwielen en zelfs miniatuurkoelers. De revolutie van de micromechanica is mogelijk gemaakt door het gebruik van dunne film- en fotolithografische technieken die oorspronkelijk waren bedoeld voor fabricage van elektronische componenten. In de micromechanica wordt tevens dankbaar gebruik gemaakt van de uitstekende mechanische eigenschappen van materialen die van oudsher in de halfgeleiderindustrie gebruikt worden, zoals silicium, siliciumnitride, aluminiumoxide, etc. We zullen laten zien dat deze materialen ook gebruikt kunnen worden voor het met grote precisie maken van dunne maar zeer robuuste microzeven.


References

DSPE appoints Martin van den…

Upon his retirement from ASML, Martin van den Brink was appointed honorary member of DSPE.

Read more
High-velocity innovation

Making crucial design decisions early in the concept phase of a project, may lead to severe cost and time overruns when these decisions are based on assumptions and/or incomplete knowledge.

Read more
Hybrid variable-reluctance actuator technology on-sky

Astronomers use deformable mirrors to improve the image of a telescope by correcting for the optical distortions caused by atmospheric turbulence.

Read more