Lichtmicroscopie voorbij de diffractielimiet: op weg naar 100 nm resolutie

Manufacturing Materials Optics
Fotonica nr. 5/6, 2000 by R. Hendriks 27 April 2006

Lichtmicroscopie is een oud vakgebied, waaraan in het verleden vanuit Nederland een belangrijke bijdrage is geleverd. Het was echter een Duitser (Ernst Abbe) die ruim een eeuw geleden de theoretische basis legde. Hij liet zien hoe diffractie van licht in het voorwerp en aan de objectieflens de resolutie van het beeld bepalen. Bovendien definieerde hij de eisen waaraan een lens moet voldoen om de optimale resolutie te behalen. Deze resolutie wordt de diffractielimiet genoemd, en hiervoor moet de lens vrij zijn van lensfouten zoals chromatische en spherische aberratie. Door Abbe’s werk werd in een goede microscoop de resolutie puur bepaald door fysische parameters, zoals golflengte van het gebruikte licht, en de Numerieke Apertuur van de lens.


References

Lunch Lecture April hosted by…

Theme: Concept optimization of system dynamics of a wafer metrology tool

Read more
Historical view on determinism and…

Paralleling the historical beginnings of modern science, assessing and addressing variation in physical systems constitutes the foundation of precision engineering. Tycho Brahe gave us the measurement data to analyse the heavens.

Read more
Sensor for picometer-scale positioning in…

As technology reaches the atomic and quantum scale, sub-nanometer motion control is no longer optional – it is a necessity, often in vacuum environments where even the smallest disturbances are effectively suppressed.

Read more