Lichtmicroscopie voorbij de diffractielimiet: op weg naar 100 nm resolutie

Manufacturing Materials Optics
Fotonica nr. 5/6, 2000 by R. Hendriks 27 April 2006

Lichtmicroscopie is een oud vakgebied, waaraan in het verleden vanuit Nederland een belangrijke bijdrage is geleverd. Het was echter een Duitser (Ernst Abbe) die ruim een eeuw geleden de theoretische basis legde. Hij liet zien hoe diffractie van licht in het voorwerp en aan de objectieflens de resolutie van het beeld bepalen. Bovendien definieerde hij de eisen waaraan een lens moet voldoen om de optimale resolutie te behalen. Deze resolutie wordt de diffractielimiet genoemd, en hiervoor moet de lens vrij zijn van lensfouten zoals chromatische en spherische aberratie. Door Abbe’s werk werd in een goede microscoop de resolutie puur bepaald door fysische parameters, zoals golflengte van het gebruikte licht, en de Numerieke Apertuur van de lens.


References

Wim van der Hoek Award…

This year, the jury has received four nominations for students who applied existing or new design principles in their graduation work in an exciting manner.

Read more
Over 350 exhibitors, 6 themes…

The 2024 edition has six central themes: Mechatronic Engineering & Systems, Metrology, Vacuum & Clean, Micro Processing & Motion, Laser & Photonics, and Production for High Precision.

Read more
Nonlinear control takes over?

The ever increasing demands on precision and throughput in semiconductor manufacturing machines challenge today's linear control designs.

Read more