Kalibratie van nanosensoren

Sensors
Mikroniek 2-2000 by R.H. Bergmans 27 April 2006

Nanosensoren worden gekenmerkt door (sub)-nanometerresolutie en een range van tenminste enkele micrometers. De nauwkeurigheid van deze nanosensoren is echter niet vanzelf sprekend van hetzelfde niveau als de resolutie. Effecten zoals gevoeligheidsfouten, niet-lineariteiten en hysterese kunnen afwijkingen van de aanwijzing veroorzaken van vele nanometers. Om dit soort afwijkingen vast te stellen, waar dan vervolgens voor kan worden gecorrigeerd, is een zeer nauwkeurige meetopstelling ontwikkeld.


References

Techcafé met als thema Manufacturability

Dé plek om ongedwongen nieuwe contacten op te doen én onder het genot van een borrel en bitterbal te sparren over tech onderwerpen.

Read more
Marriage of opto-mechatronics and electron…

This year’s DSPE Opto-Mechatronics Symposium attracted some 100 participants from academia and industry, all of whom seized the opportunity for networking, meeting technical peers, and visiting an interesting small-scale exhibition.

Read more
Working with LEM and FEM…

The phenomenon of thermal drift compromises precision as a result of thermal expansion or contraction of components, caused by small variations in temperature.

Read more