Kalibratie van nanosensoren

Sensors
Mikroniek 2-2000 by R.H. Bergmans 27 April 2006

Nanosensoren worden gekenmerkt door (sub)-nanometerresolutie en een range van tenminste enkele micrometers. De nauwkeurigheid van deze nanosensoren is echter niet vanzelf sprekend van hetzelfde niveau als de resolutie. Effecten zoals gevoeligheidsfouten, niet-lineariteiten en hysterese kunnen afwijkingen van de aanwijzing veroorzaken van vele nanometers. Om dit soort afwijkingen vast te stellen, waar dan vervolgens voor kan worden gecorrigeerd, is een zeer nauwkeurige meetopstelling ontwikkeld.


References ...

Going for ECP2 Gold: A journey of technical growth and lifelong learning

In June, Moiz Hyderabadwala, Senior Researcher at ASML Research, received the ECP2 Silver certificate, awarded through the European Certified Precision Engineering Course Programme (ECP2), a collaboration between Euspen and DSPE.

Read more
Mastering thin metal production for mass-manufactured energy systems

The successful transition to a sustainable energy future hinges on the industrialisation of advanced energy-conversion technologies.

Read more
Mikroniek June 2026: Design for Sustainability

The June issue of Mikroniek is devoted to Design for Sustainability. The main theme article presents the challenges of thin metal production for mass-manufactured energy systems.

Read more