Kalibratie van nanosensoren

Sensors
Mikroniek 2-2000 by R.H. Bergmans 27 April 2006

Nanosensoren worden gekenmerkt door (sub)-nanometerresolutie en een range van tenminste enkele micrometers. De nauwkeurigheid van deze nanosensoren is echter niet vanzelf sprekend van hetzelfde niveau als de resolutie. Effecten zoals gevoeligheidsfouten, niet-lineariteiten en hysterese kunnen afwijkingen van de aanwijzing veroorzaken van vele nanometers. Om dit soort afwijkingen vast te stellen, waar dan vervolgens voor kan worden gecorrigeerd, is een zeer nauwkeurige meetopstelling ontwikkeld.


References

Wim van der Hoek Award…

This year, the jury has received four nominations for students who applied existing or new design principles in their graduation work in an exciting manner.

Read more
Over 350 exhibitors, 6 themes…

The 2024 edition has six central themes: Mechatronic Engineering & Systems, Metrology, Vacuum & Clean, Micro Processing & Motion, Laser & Photonics, and Production for High Precision.

Read more
Nonlinear control takes over?

The ever increasing demands on precision and throughput in semiconductor manufacturing machines challenge today's linear control designs.

Read more