Kalibratie van nanosensoren

Sensors
Mikroniek 2-2000 by R.H. Bergmans 27 April 2006

Nanosensoren worden gekenmerkt door (sub)-nanometerresolutie en een range van tenminste enkele micrometers. De nauwkeurigheid van deze nanosensoren is echter niet vanzelf sprekend van hetzelfde niveau als de resolutie. Effecten zoals gevoeligheidsfouten, niet-lineariteiten en hysterese kunnen afwijkingen van de aanwijzing veroorzaken van vele nanometers. Om dit soort afwijkingen vast te stellen, waar dan vervolgens voor kan worden gecorrigeerd, is een zeer nauwkeurige meetopstelling ontwikkeld.


References

Café Eureka next edition on…

Café Eureka offers Young Professionals the place to be together and to gain experiences with an interactive interview with an inspiring guest.

Read more
Lunch Lecture September hosted by…

Beam steering: 20x increase in angular range of plane mirror interferometers.

Read more
Wim van der Hoek Award…

To mark the 20th anniversary of the Wim van der Hoek Award, we will dive into history by posting interviews with previous winners.

Read more