Kalibratie van nanosensoren

Sensors
Mikroniek 2-2000 by R.H. Bergmans 27 April 2006

Nanosensoren worden gekenmerkt door (sub)-nanometerresolutie en een range van tenminste enkele micrometers. De nauwkeurigheid van deze nanosensoren is echter niet vanzelf sprekend van hetzelfde niveau als de resolutie. Effecten zoals gevoeligheidsfouten, niet-lineariteiten en hysterese kunnen afwijkingen van de aanwijzing veroorzaken van vele nanometers. Om dit soort afwijkingen vast te stellen, waar dan vervolgens voor kan worden gecorrigeerd, is een zeer nauwkeurige meetopstelling ontwikkeld.


References

Call for abstracts! DSPE Conference…

The call for abstracts is open until 15 February 2025.

Read more
Lunch lecture November hosted by…

The title of this lunch lecture is: Potential of fault diagnosis and predictive maintenance for precision mechatronics

Read more
QUADRA: metrology for the ongoing…

The semiconductor roadmap is currently fuelled by innovations along three trends

Read more