iTIRM: ruwheidsmetingen aan oppervlakten tijdens bewerking

Het fabriceren van optische elementen zoals lenzen en spiegels gebeurt door glasoppervlakken te bewerken met slijp- en polijsttechnieken. Eerst wordt door middel van slijpen de vorm van het oppervlak gemaakt; hierbij ontstaan ook kleine scheurtjes onder het oppervlak, de zogenaamde ‘subsurface damage’ (SSD). Na het slijpen wordt het oppervlak gepolijst om het glad te maken en de SDD te verwijderen. Om de fabricage van optische elementen te verbeteren is het detecteren en meten van de ruwheid en SSD tijdens het slijpen en polijsten gewenst.