iTIRM: ruwheidsmetingen aan oppervlakten tijdens bewerking

Control Manufacturing Optics
Fotonica nr. 3, 2000 by R.M. van der Bijl; H. van Brug; O.W. Fahnle 27 April 2006

Het fabriceren van optische elementen zoals lenzen en spiegels gebeurt door glasoppervlakken te bewerken met slijp- en polijsttechnieken. Eerst wordt door middel van slijpen de vorm van het oppervlak gemaakt; hierbij ontstaan ook kleine scheurtjes onder het oppervlak, de zogenaamde ‘subsurface damage’ (SSD). Na het slijpen wordt het oppervlak gepolijst om het glad te maken en de SDD te verwijderen. Om de fabricage van optische elementen te verbeteren is het detecteren en meten van de ruwheid en SSD tijdens het slijpen en polijsten gewenst.


References

Wim van der Hoek Award…

This year, the jury has received four nominations for students who applied existing or new design principles in their graduation work in an exciting manner.

Read more
Over 350 exhibitors, 6 themes…

The 2024 edition has six central themes: Mechatronic Engineering & Systems, Metrology, Vacuum & Clean, Micro Processing & Motion, Laser & Photonics, and Production for High Precision.

Read more
Nonlinear control takes over?

The ever increasing demands on precision and throughput in semiconductor manufacturing machines challenge today's linear control designs.

Read more