Harmonische analyse bij rondheidsmeting

Precision-technology Sensors
Mikroniek 2-1993 by J.W. van Beek 27 April 2006

Een rondheidsmeting geeft de vormafwijking van de ideale ronde vorm van een produkt weer. Grove afwijkingen als ovaliteit en driepuntsonrondheid kunnen vaak makkelijk in een rondheidsgrafiek herkend worden. Ze zijn het gevolg van een afwijking in het fabricageproces die hun sporen op het produkt hebben afgebeeld. KLeinere afwijkingen zijn moeilijker of in het geheel niet met het blote oog in een rondheidsgrafiek te herkennen. Door toepassing van harmonische analyse kan het rondheidsmeetsignaal worden geanalyseerd naar grootte en frequentie. Aan de hand van de frequentie en met de nodige kennis van de bewerkingsmachines en -processen blijkt het mogelijk een vermoedelijke oorzaak voor de afwijking te geven. De meting is zo gevoelig dat men dat men door regelmatige meting van produkten die met dezelfde machine gefabriceerd zijn, de verandering in kwaliteit (bijv. door lagerslijtage) van de machine kan waarnemen.


References

Lunch Lecture April hosted by…

Theme: Concept optimization of system dynamics of a lithography tool.

Read more
Historical view on determinism and…

Paralleling the historical beginnings of modern science, assessing and addressing variation in physical systems constitutes the foundation of precision engineering. Tycho Brahe gave us the measurement data to analyse the heavens.

Read more
Sensor for picometer-scale positioning in…

As technology reaches the atomic and quantum scale, sub-nanometer motion control is no longer optional – it is a necessity, often in vacuum environments where even the smallest disturbances are effectively suppressed.

Read more