Geef uw microscoop een hand

Control Electronics Mechanics
Mikroniek 2008-4 by Bernd Volbert 11 May 2010

Met licht- en elektronenmicroscopische technieken kunnen heden ten dage structuren worden afgebeeld met een oplossend vermogen van kleiner dan 0,2 micrometer (lichtmicroscopen)resepctievelijk 1 nanometer (scanning microscopen). Deze beeldinformatie kan worden aangevuld met informatie over de elementaire samenstelling van het preparaat of de structuur door gebruik te maken van signalen (x-ray of elektronen) die bij de wisselwerking van elektronen met het preparaat ontstaan. Het oplossend vermogen van deze analytische methodes is ongeveer een micrometer. Voor verbetering van het oplossend vermogen wil een onderzoeker vaak het preparaat beter kunnen voorbereiden en in situ (dus in een microscoop) manipuleren op submicrometerschaal.


References

Lunch Lecture April hosted by…

Theme: Concept optimization of system dynamics of a lithography tool.

Read more
Historical view on determinism and…

Paralleling the historical beginnings of modern science, assessing and addressing variation in physical systems constitutes the foundation of precision engineering. Tycho Brahe gave us the measurement data to analyse the heavens.

Read more
Sensor for picometer-scale positioning in…

As technology reaches the atomic and quantum scale, sub-nanometer motion control is no longer optional – it is a necessity, often in vacuum environments where even the smallest disturbances are effectively suppressed.

Read more