Elektrochemisch micro-bewerken

Elektrochemisch bewerken (“electrochemical machining”, ECM) geschiedt met een elektrolytoplossing tussen werkstuk en gereedschap, die als anode en kathode geschakeld zijn. Bij stroomdoorgang lost het werkstuk plaatselijk op, waarbij de vorm van het gereedschap wordt gekopieerd. Reactieprodukten en warmte worden afgevoerd via een snelle doorstroming van de elektrolytoplossing. Uitgebreide voorzieningen zijn nodig voor de circulatie en zuivering van de elektrolytoplossing alsmede voor het instellen van de juiste werkspanning, de besturing van het gereedschap en de beveiliging tegen kortsluiting. De snelheid en vormnauwkeurigheid hangen af van gereedschap, elektrolyt, werkspleet, stroomdichtheid en vloeistofsnelheid. De hardheid van het werkstuk speelt geen rol. Een verbetering van de vormnauwkeurigheid wordt verkregen wanneer het gereedschap plaatselijk ge?soleerd is, bij voorbeeld met twee Sic-lagen en een tussenliggende Si3N4-laag, die zijn aangebracht via “chemical vapour deposition” (CVD). Ook het gebruik van een pulserende spanning heeft een gunstige invloed. Ingewikkelde vormen worden met een hoge snelheid geproduceerd zonder slijtage van het gereedschap, braamvorming en mechanische spanningen. De ECM-methode kan men gebruiken voor zeer fijne (micro-)bewerkingen als het aanbrengen van tandprofielen en gekalibreerde gaatjes, het verwijderen van kleine bramen, het profileren van randen en het maken van patronen in folies.