Een resonerende siliciumbalk als precisiekrachtsensor

Micro system technology MEMS/NEMS Sensors
Mikroniek 1-1990 by F.Blom, C.J. van Mullem 27 April 2006

Dit artikel gaat over de mogelijkheid een resonerende siliciumbalk te gebruiken als precisiekrachtsensor, waarbij de piezo-elektrische zinkoxide films (ZnO) dienen voor de excitatie en detectie van de trilling. De sensor wordt vervaardigd met behulp van standaard IC-technologie, gecombineerd met dunne film-depositie en micromechanische technieken. Het doel is een krachtsensor te verkrijgen in het bereik van 0 tot 1 N en met een resolutie van 100 ppm of beter. Zo’n sensor zou in een elektronische precisieweegschaal kunnen worden toegepast.


References

DSPE appoints Martin van den…

Upon his retirement from ASML, Martin van den Brink was appointed honorary member of DSPE.

Read more
High-velocity innovation

Making crucial design decisions early in the concept phase of a project, may lead to severe cost and time overruns when these decisions are based on assumptions and/or incomplete knowledge.

Read more
Hybrid variable-reluctance actuator technology on-sky

Astronomers use deformable mirrors to improve the image of a telescope by correcting for the optical distortions caused by atmospheric turbulence.

Read more