Een resonerende siliciumbalk als precisiekrachtsensor

Micro system technology MEMS/NEMS Sensors
Mikroniek 1-1990 by F.Blom, C.J. van Mullem 27 April 2006

Dit artikel gaat over de mogelijkheid een resonerende siliciumbalk te gebruiken als precisiekrachtsensor, waarbij de piezo-elektrische zinkoxide films (ZnO) dienen voor de excitatie en detectie van de trilling. De sensor wordt vervaardigd met behulp van standaard IC-technologie, gecombineerd met dunne film-depositie en micromechanische technieken. Het doel is een krachtsensor te verkrijgen in het bereik van 0 tot 1 N en met een resolutie van 100 ppm of beter. Zo’n sensor zou in een elektronische precisieweegschaal kunnen worden toegepast.


References

Professional education program (Microcredentials)

The aim of the DSPE professional education program is to equip professionals with the specialized knowledge, skills, and competencies needed to design and realize innovative (high tech) systems.

Read more
Techcafé met als thema Manufacturability

Dé plek om ongedwongen nieuwe contacten op te doen én onder het genot van een borrel en bitterbal te sparren over tech onderwerpen.

Read more
Marriage of opto-mechatronics and electron…

This year’s DSPE Opto-Mechatronics Symposium attracted some 100 participants from academia and industry, all of whom seized the opportunity for networking, meeting technical peers, and visiting an interesting small-scale exhibition.

Read more