Een resonerende siliciumbalk als precisiekrachtsensor

Dit artikel gaat over de mogelijkheid een resonerende siliciumbalk te gebruiken als precisiekrachtsensor, waarbij de piezo-elektrische zinkoxide films (ZnO) dienen voor de excitatie en detectie van de trilling. De sensor wordt vervaardigd met behulp van standaard IC-technologie, gecombineerd met dunne film-depositie en micromechanische technieken. Het doel is een krachtsensor te verkrijgen in het bereik van 0 tot 1 N en met een resolutie van 100 ppm of beter. Zo’n sensor zou in een elektronische precisieweegschaal kunnen worden toegepast.

Download Mikroniek 1-1990

Back to overview

We use cookies to improve your experience on our website

References

Order of frictions and stiffnesses…

For lumped systems consisting of different frictions and stiffnesses, there has been confusion in literature about hysteresis curves and virtual play for many decades.

Make it clean

In mid-April, the second edition of the Manufacturing Technology Conference and the fifth edition of the Clean Event were held together, for the first time, at the Koningshof in Veldhoven (NL).

Bringing particles to light

Particle contamination monitoring and cleanliness control are fundamental to micromanufacturing processes across diverse industries to achieve cost-effective production of high-quality and reliable microscale devices and components.