Een resonerende siliciumbalk als precisiekrachtsensor
Dit artikel gaat over de mogelijkheid een resonerende siliciumbalk te gebruiken als precisiekrachtsensor, waarbij de piezo-elektrische zinkoxide films (ZnO) dienen voor de excitatie en detectie van de trilling. De sensor wordt vervaardigd met behulp van standaard IC-technologie, gecombineerd met dunne film-depositie en micromechanische technieken. Het doel is een krachtsensor te verkrijgen in het bereik van 0 tot 1 N en met een resolutie van 100 ppm of beter. Zo’n sensor zou in een elektronische precisieweegschaal kunnen worden toegepast.