Een resonerende siliciumbalk als precisiekrachtsensor

Dit artikel gaat over de mogelijkheid een resonerende siliciumbalk te gebruiken als precisiekrachtsensor, waarbij de piezo-elektrische zinkoxide films (ZnO) dienen voor de excitatie en detectie van de trilling. De sensor wordt vervaardigd met behulp van standaard IC-technologie, gecombineerd met dunne film-depositie en micromechanische technieken. Het doel is een krachtsensor te verkrijgen in het bereik van 0 tot 1 N en met een resolutie van 100 ppm of beter. Zo’n sensor zou in een elektronische precisieweegschaal kunnen worden toegepast.

Download Mikroniek 1-1990

Back to overview

We use cookies to improve your experience on our website

References ...

Going for ECP2 Gold: A journey of technical growth and lifelong learning

In June, Moiz Hyderabadwala, Senior Researcher at ASML Research, received the ECP2 Silver certificate, awarded through the European Certified Precision Engineering Course Programme (ECP2), a collaboration between Euspen and DSPE.

Mastering thin metal production for mass-manufactured energy systems

The successful transition to a sustainable energy future hinges on the industrialisation of advanced energy-conversion technologies.

Mikroniek June 2026: Design for Sustainability

The June issue of Mikroniek is devoted to Design for Sustainability. The main theme article presents the challenges of thin metal production for mass-manufactured energy systems.