Een keramische verschildrukopnemer

Sensors
Mikroniek 4-1988, Philips Technisch Tijdschrift 43-1986 by V. Graeger, R. Kobs, M. Liehr 27 April 2006

De verschildrukopnemer die is ontwikkeld in het Philips Forschungslaboratium Hamburg, is geheel vervaardigd van keramisch aluminiumoxide en is daardoor bestand tegen nagenoeg alle procesvloeistoffen. De opnemer heeft ??n met vloeistof gevulde kamer, die van de media waarvan het drukverschil moet worden gemeten, is gescheiden door twee membranen. De uitwijkingen van deze membranen worden capacitief gemeten. Het drukverschil is evenredig met het verschil van de reciproke waarden van de capaciteiten van twee condensatoren. Dit verschil wordt echter ook be?nvloed door de temperatuur van de vloeistof in de opnemer. Deze invloed wordt gecompenseerd met behulp van de som van de reciproke waarden van de capaciteiten; deze som is evenredig met de temperatuur. Er is een elektronische schakeling met operationele versterkers en een terugkoppellus ontworpen, waarmee de lineaire temperatuurcompensatie tot stand komt. Deze schakeling maakt samen met de keramische opnemer deel uit van de Philips verschildrukopnemer PD3, die in vier uitvoeringen met verschillende meetgebieden in de handel is gebracht. Er wordt in het laboratorium ook nog gewerkt aan een verschildruk-meetapparaat voor laboratoriumgebruik, waarin ook niet-lineaire temperatuureffecten worden gecompenseerd. Verder wordt er onderzoek gedaan aan een methode om het meetresultaat over te brengen via glasvezels.


References

QUADRA: metrology for the ongoing…

The semiconductor roadmap is currently fuelled by innovations along three trends

Read more
Damping position-dependent parasitic vibrations

Parasitic resonances are often limiting the performance of precision machinery.

Read more
Reducing noise and vibrations

Acoustics play a critical role in product development across various engineering domains, significantly impacting both functionality and user experience.

Read more