De autofocussensor: een nieuwe benadering van contactloze oppervlakte-metingen

Optics Sensors
Mikroniek 2-1992 by G.J.J.M.Dalessi 27 April 2006

Mede dankzij de ontwikkeling van de zeer compacte halfgeleiderlaser is het mogelijk geworden een aantal nieuwe, contactloze autofocussensoren te ontwikkelen zowel voor de industriele als voor laboratoriumdoeleinden. Toepassingen worden vooral gevonden op het gebied van kwaliteitscontrole en beheersing van geavanceerde produktieprocessen. In tegenstelling tot de conventionele meettasters, kan door het contactloze karakter van de autofocussensor ook aan plastische of zeer krasgevoelige materialen gemeten worden, zonder dat er vervormingen of beschadigingen optreden. Ook de meetfrequentie ligt in vergelijking met deze meettasters vele malen hoger.


References

Lunch lecture January hosted by…

Machine Learning-Based Feedforward Control Using ILC

Read more
Wietse Maas (ASML) receives Wim…

Prize for new design principle for passive damping. During the 24th edition of the Precision Fair in Den Bosch (NL), the Wim van der Hoek Award was presented under the auspices of DSPE (Dutch Society for Precision Engineering).

Read more
Ir. A. Davidson Award 2025…

Prize for system designer, inventor, connector and inspiring mentor

Read more