De autofocussensor: een nieuwe benadering van contactloze oppervlakte-metingen

Optics Sensors
Mikroniek 2-1992 by G.J.J.M.Dalessi 27 April 2006

Mede dankzij de ontwikkeling van de zeer compacte halfgeleiderlaser is het mogelijk geworden een aantal nieuwe, contactloze autofocussensoren te ontwikkelen zowel voor de industriele als voor laboratoriumdoeleinden. Toepassingen worden vooral gevonden op het gebied van kwaliteitscontrole en beheersing van geavanceerde produktieprocessen. In tegenstelling tot de conventionele meettasters, kan door het contactloze karakter van de autofocussensor ook aan plastische of zeer krasgevoelige materialen gemeten worden, zonder dat er vervormingen of beschadigingen optreden. Ook de meetfrequentie ligt in vergelijking met deze meettasters vele malen hoger.


References

Lunch Lecture April hosted by…

Theme: Concept optimization of system dynamics of a wafer metrology tool

Read more
Historical view on determinism and…

Paralleling the historical beginnings of modern science, assessing and addressing variation in physical systems constitutes the foundation of precision engineering. Tycho Brahe gave us the measurement data to analyse the heavens.

Read more
Sensor for picometer-scale positioning in…

As technology reaches the atomic and quantum scale, sub-nanometer motion control is no longer optional – it is a necessity, often in vacuum environments where even the smallest disturbances are effectively suppressed.

Read more