Contactloos meten met behulp van opto-elektronische sensoren en laterale foto-effect detectoren

Micro system technology MEMS/NEMS Precision-technology
Mikroniek 3-2004 by Frank Godschalk, C.S. Kooijman 20 February 2007

De ontwikkelingen richting de nanotechnologie gaan in hoog tempo. Om op nanometerniveau te meten is positionering nodig op submicron niveau. Met behulp van onder andere optische sensoren is dit mogelijk omdat ze in ieder geval contactloos werken. Er zijn kant en klare sensoren te koop, maar zelf bouwen kan ook. De keuze om te meten met PSDโ€™s heeft unieke voordelen ten opzichte van andere middelen. In het nu volgende artikel gaan we dieper in op de opto-electronische sensoren en laterale fotoeffect-detectoren.


References

Our DSPE chairman Hans Krikhaar…

๐—ช๐—ฒ ๐—ฎ๐—ฟ๐—ฒ ๐—ฝ๐—ฟ๐—ผ๐˜‚๐—ฑ ๐˜๐—ผ ๐—ฎ๐—ป๐—ป๐—ผ๐˜‚๐—ป๐—ฐ๐—ฒ ๐˜๐—ต๐—ฎ๐˜ ๐——๐—ฆ๐—ฃ๐—˜ ๐—ฃ๐—ฟ๐—ฒ๐˜€๐—ถ๐—ฑ๐—ฒ๐—ป๐˜ ๐—›๐—ฎ๐—ป๐˜€ ๐—ž๐—ฟ๐—ถ๐—ธ๐—ต๐—ฎ๐—ฎ๐—ฟ ๐—ต๐—ฎ๐˜€ ๐—ฟ๐—ฒ๐—ฐ๐—ฒ๐—ถ๐˜ƒ๐—ฒ๐—ฑ ๐—ฎ ๐—š๐—ฒ๐—ฟ๐—ฎ๐—ฟ๐—ฑ & ๐—”๐—ป๐˜๐—ผ๐—ป ๐—›๐—ถ๐—ด๐—ต ๐—ง๐—ฒ๐—ฐ๐—ต ๐—ฆ๐˜๐—ฎ๐—ฟ ๐—”๐˜„๐—ฎ๐—ฟ๐—ฑ ๐Ÿฎ๐Ÿฌ๐Ÿฎ๐Ÿฒ!

Read more
Lunch lecture February hosted by…

Title: Piezoelectric wafer stage โ€“ for electron beam inspection systems

Read more
Sensitivity analysis in Opto-Mechanical System…

As a mechatronics engineer at VDL ETG Technology & Development in Almelo (NL), Leon Nijenhuis got involved with opto-mechanics when working on aerospace projects. One of his duties was the design of an alignment tool for laser satellite communication.

Read more