Contactloos meten met behulp van opto-elektronische sensoren en laterale foto-effect detectoren

Micro system technology MEMS/NEMS Precision-technology
Mikroniek 3-2004 by Frank Godschalk, C.S. Kooijman 20 February 2007

De ontwikkelingen richting de nanotechnologie gaan in hoog tempo. Om op nanometerniveau te meten is positionering nodig op submicron niveau. Met behulp van onder andere optische sensoren is dit mogelijk omdat ze in ieder geval contactloos werken. Er zijn kant en klare sensoren te koop, maar zelf bouwen kan ook. De keuze om te meten met PSD’s heeft unieke voordelen ten opzichte van andere middelen. In het nu volgende artikel gaan we dieper in op de opto-electronische sensoren en laterale fotoeffect-detectoren.


References

DSPE appoints Martin van den…

Upon his retirement from ASML, Martin van den Brink was appointed honorary member of DSPE.

Read more
High-velocity innovation

Making crucial design decisions early in the concept phase of a project, may lead to severe cost and time overruns when these decisions are based on assumptions and/or incomplete knowledge.

Read more
Hybrid variable-reluctance actuator technology on-sky

Astronomers use deformable mirrors to improve the image of a telescope by correcting for the optical distortions caused by atmospheric turbulence.

Read more