Vergelijkende beschouwing slijtvaste lagen op basis van CVD- en PVD-proc?d

Chemical technology Materials
Mikroniek 6-1988 by n/a 27 April 2006

Onder oppervlaktetechnieken neemt het chemisch (CVD) en fysisch (PVD) opbrengen van onder andere TiC (titaancarbide) en TiN (titaannitride) als slijtvaste lagen een bijzondere plaats in. Hoewel het principe van deze processen al vele tientallen jaren bekend is, is het op economische schaal aanbrengen van lagen op stalen gereedschappen en onderdelen door middel van het CVD- en PVD-proc?d? pas de laatste jaren tot ontwikkeling gekomen. In dit artikel worden de eigenschappen van de aan te brengen lagen besproken en met elkaar vergeleken. Tevens worden de proc?d?s en hun toepassingen behandeld.


References

Wim van der Hoek Award…

This year, the jury has received four nominations for students who applied existing or new design principles in their graduation work in an exciting manner.

Read more
Over 350 exhibitors, 6 themes…

The 2024 edition has six central themes: Mechatronic Engineering & Systems, Metrology, Vacuum & Clean, Micro Processing & Motion, Laser & Photonics, and Production for High Precision.

Read more
Nonlinear control takes over?

The ever increasing demands on precision and throughput in semiconductor manufacturing machines challenge today's linear control designs.

Read more